1.3

错误 #3489: 单机械手臂，放入平台失败

行为

错误 #3661: 单片页面，Transfer转运到其他槽位，未生效，依然返回原本槽位

行为

错误 #3683: 客户端检测结果等级与传到EFEM等级不一致(EFEM1.3)

行为

错误 #3684: 单独上下片后面执行union模式盒子状态一直显示running，生产无法注册(EFEM1.3)

行为

错误 #3685: 生产Solo Union No-Buffer模式没有输入ID 建议根据下图格式去拼接Lot_id 和Wafer_id（EFEM1.3）

行为

错误 #3686: Union模式，StopLP报错(EFEM1.3)

行为

错误 #3687: SlotNO和SlotIndex与定义的不一致(EFEM1.3)

行为

错误 #3688: Union 注册 LPB有样片槽位号提示不对（EFEM1.3）

行为

错误 #3696: No_Buffer模式 A盒ng，b盒c等级，基片是c等级，同槽位有样片-需要在Message信息提示

行为

错误 #3697: 没有对应等级的盒子，结果中显示蓝色底色scanning 应该显示Inspecting十红色底色

行为

错误 #3698: 基片在运动平台上检测时，结果状态中显示scanning不正确，应该显示inspecting

行为

错误 #3702: 单片转运，平台-料盒失败（EFEM1.3）

行为

错误 #3703: No_Buffer模式，分类样片，放片没有对应得料盒，页面UI 有提示信息，槽位被占用没有提示信息，目前放片软件只做一次提示，不做轮回提示（待讨论）

行为

错误 #3706: 手动制造检测异常，将触发线拔了，检测结束客户端提示检测失败，EFEM_UI没有失败提示

行为

错误 #3707: EFEM上片过程 EFEM_Service 有错误日志

行为

错误 #3708: 转运按钮点击多次，在操作生产检测，将Casse盒手动unload 执行union报错

行为

错误 #3711: 单独上片，EFEM状态应该为running 目前显示是stopped

行为

错误 #3727: No-Buffer模式，LP盒配置收集的基片等级如下图生产页面所示，点击LPA盒中的register按钮，生产页面提示错误信息“Position Box[1] 基板不在位”

行为

错误 #3729: No-Buffer模式，收集基片的LP盒一直未进行register操作时，生产页面没有任何提示信息

行为

错误 #3730: Union模式：当放片的LP盒中有基片时给出的提示信息中slotNo值错误，以及提示信息中部分单词拼写错误

行为

错误 #3731: 基片检测完了后在EFEM页面LP盒的对应槽位中显示其等级，在EFEM页面进行Transfer操作后，基片在转运后的LP盒中不显示其等级

行为

错误 #3732: EFEM页面选择一个有基片的槽位，点击Add按钮，提示错误信息“transfer action is running”

行为

错误 #3733: 配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20，点击Run按钮，提示错误信息“there a Task is runing”；然后选择基片进行上片操作，仍提示错误信息“there a Task is runing”

行为

错误 #3734: 先在EFEM页面从CassetteB手动上片，然后在VIS中进行检测，检测完了后，使用Transfer功能将检测平台上的基片转运到CassetteA中，提示错误信息“the source substrate isnot exist”

行为

错误 #3740: 单片模式扫描槽位号和slono能对应起来，生产模式对不上

行为

错误 #3741: 生产结束后，拿走盒子会报错

行为

错误 #3742: union模式 A盒配置 ABC等级 B盒配置NG结束后，点击生产stop ，DEBUG 关闭仓门再一次执行union模式，注册完A盒扫描完有NG的片子直接放到B盒没有判断仓门是否打开

行为

错误 #3746: 生产页面录入两个相同的基片ID，点击register后不会提示基片ID重复的错误信息

行为

错误 #3750: BUFFER——到Cassett转运报错

行为

错误 #3751: with buffer 下料，注册下完一片中途点了料盒stop 然后拿放盒子报错了生产页面闪退

行为

错误 #3756: EFEM(V1.3)和生产检测(V4.4)页面UI问题

行为

错误 #3758: 机械手上有基片时点击生产检测按钮，会出现空白的检测结果汇总页面

行为

错误 #3759: No-Buffer模式，LPA-UnRunning状态，LPB-UnRunning状态，打开生产检测页面，点击LPA盒中的Register按钮，等基片检测完了，机械手从检测平台下片后生产检测页面闪退，EFEM页面报错“TargetSlotIndex exits”

行为

错误 #3764: 单片转运会出现该提示

行为

错误 #3765: 单片做转运，之后再去做生产片盒信息记录不对导致取片失败

行为

错误 #3770: 优化建议：log日志中部分消息不太合理建议优化

行为

错误 #3780: 生产模式报错，目前解决方法暂时规避

行为

错误 #3785: 单片转运，从lotB盒取片到BUFFRE失败

行为

错误 #3786: Debug 模式，Load 片盒打开仓门随后会关闭

行为

错误 #3787: DEBUG模式平台到料盒失败（3000U机台）

行为

错误 #3788: nobuffer模式，当片子检测完了应该放入非上料的LP中，下料的LP盒已注册，此时点击下料盒的stop按钮，则生产页面关闭，EFEM页面报错“TransactTo CassettB 24, the target.Box is not loaded”

行为

错误 #3789: 单片检测，选中LPA盒中槽位2的基片，点击Load按钮，提示错误信息“there is no taskitem”

行为

错误 #3790: 单片检测，VIS已检测出基片等级，但基片被Unload操作放回LP盒中后，不会显示对应等级

行为

错误 #3791: Union模式，当下料盒为非unloaded的状态且存在基片时，点击生产页面的Register按钮，不会提示报错信息

行为

错误 #3808: union模式不填写Carrier 检测结果没有用时间戳拼接 Lotid 和wafer id

行为

错误 #3814: With-Buffer和No-Buffer模式生产结束正常点击生产停止下料盒状态变成unrunning 再次点击VIS 生产，下料盒变成running

行为

错误 #3815: 生产页面中检测结果的Message内容不会跟着新的检测任务而更新至最新的，仍显示之前检测任务的报错信息

行为

错误 #3816: 通过EFEM_UI单片上片，点击Load按钮时会出现无法上片，提示：AOI not ready

行为

错误 #3817: 单片检测页面，在Transfer处Source选择buffer中没有基片的槽位，点击Run按钮进行转运操作，报错“未将对象引用设置到对象的实例”

行为

错误 #3821: ACS轴异常，导致EFEM无法正常上下片

行为

错误 #3822: 参数NoUnloadWhenTaskFinished设置为false，任务完成后， LP未解锁

行为

错误 #3823: EFEM1.3 - 配置了预览相机相关参数，基片上片时，并没有到预览相机处扫描，而是直接放到了检测平台

行为

错误 #3828: Solo Union With-Buffer和No-Buffer模式未注册点击Stop 报错

行为

错误 #3830: EFEM执行过程中报错

行为

错误 #3845: 预对准上有片时，无法进行Home，导致无法恢复数据

行为

错误 #3851: LPA是Unloaded状态，手动拖出基片，点击Load LP按钮，检测到凸片异常后，盒子状态变成Loading，应该还是原本的Unloaded状态。

行为

错误 #3852: Load LP操作检测到凸片后，进行EFEM Reset操作完了，点击Load LP按钮不起作用，异常状态的组件应该复位

行为

错误 #3855: 【EFEM】恢复页面的一些逻辑优化

行为

错误 #3858: EFEMSVC没有打开的情况下打开VIS，PRClient.SetEFEM方法会报错，之后再打开EFEMSVC也无法连接

行为

错误 #3859: VIS点击菜单栏EFEM按钮，如果EFEMUI界面被最小化，不会把窗口最大化显示出来

行为

错误 #3884: 关闭EFEM服务，即不启用EFEM服务的时候，VIS中EFEM InnerAction提示仍然存在，且VIS不可动作

行为

错误 #3888: 关闭生产页面再打开生产页面，之前已选中的下片槽位还是会显示已选中状态，不会清除槽位已选

行为

错误 #3889: 进行如下EFEM settings和recipe配置后，启动生产检测还是不走预对准

行为

错误 #3890: 打开生产页面，手动将基片放到平台上，在生产页面点击Solo模式的register按钮启动检测，不会检测出平台有基片，机械手继续上片操作

行为

错误 #3893: EFEMSVC启动成功了，打开restore页面，使用buffer的scan功能Map bufffer后，关闭restore页面，点击VIS页面的生产检测按钮，EFEM SVC循环报错“未将对象引用设置到对象的实例”

行为

错误 #3899: 将LPA的槽位1和3的基片上料进行检测，检测完了后基片等级为NG放入buffer中，但LPA的槽位1和3却显示基片ID和等级

行为

错误 #4122: load过程中传感器识别异常时，点击unload时，机械手会撞片

行为

错误 #4137: Load/Unload过程中，机械手和Smif盒的基片在位状态，无法实时更新

行为

错误 #4139: Load上片执行过程中，旋转平台结束旋转后，Stage平台不会检查更新平台状态，此时Stage平台有片，机械手仍然会放片。

行为

错误 #4164: 调试工具debug中LoadPort工具栏，在home归零后，再执行Load与Unload，无效

行为

错误 #4277: 多端指令，load过程中用示教器操作机械手时，机械手动作会被打断，EFEM_UI界面无针对性报错

行为

错误 #4278: 在与旋转平台互动时，中途打断操作后，使用Reset清零EFEM_UI状态，旋转平台的UI状态不会清零

行为

错误 #4279: 在停止EFEM_SVC服务时，停止中再点击停止，会陷入死循环

行为

错误 #4390: 旋转台的角度指令现在LoadPortA位置和Aligner位置上片都不会执行

行为

错误 #4393: 旋转台被选中的蓝色高亮显示不会随着旋转台移除基板而清除

行为

错误 #4532: 在Smif盒的钥匙模式未切换成Auto的情况，EFEM进行Reset，Smif盒切换回Auto模式将无法再连上EFEM

行为

错误 #4722: CassettB进行槽位转移的时候，转移指令无法执行

行为

错误 #4723: 机械手在转移晶圆的过程中服务掉线，机械手报错，无法使用EFEM的服务进行复位

行为

错误 #4724: Debug模式中，空CassettB执行循环跑片（Run）后报错，切换为正确的Cassett（A），Run与Stop都无法执行

行为

错误 #4750: 调试工具debug中的Transfer without Inspect，跑片循环【Run】和生产循环【ProdRun】都无法使用

行为

错误 #4867: EFEM位置传感器报错急停后，使用Cleanloader.exe软件完成松爪，松爪完成后，使用示教器抽回机械手，示教器无法使用

行为

错误 #4868: load上片执行中，机械手与平台交互因传感器异常停止，使用Restore更新基板在位信息后，仍然无法Unload。

行为

功能 #2196: EFM-debug模式将片子放回去，建议能支持后面继续操作，而不是需要通过复位，使状态正常。

行为

功能 #2452: 水晶盒LoadPort需求分析

行为

功能 #2596: 巡边器接口重新设计，适应安全传感器逻辑

行为

功能 #3592: EFEM1.3 增加部分接口

行为

功能 #3655: 开发EFEM_UI 1.3 界面

行为

功能 #3657: 开发EFEM.Settings配置客户端

行为

功能 #3728: EFEM Service给到loadport 槽位数量

行为

功能 #3837: 新增写入、移除站点数据接口

行为

功能 #3838: EFEM页面单槽位盒子追加槽位显示

行为

功能 #3839: 平台在位传感器支持多个和单个

行为

功能 #3840: EFEM自检SOP工具开发

行为

功能 #3841: EFEM添加恢复数据功能

行为

功能 #3881: IProductModes接口提供注册的槽位号

行为

功能 #4362: 支持从旋转平台上下片

行为

功能 #4490: Reset功能整改

行为

功能 #4491: 单槽掩膜EFEM中Stage平台调用接口改为Storm插件方式调用。

行为

功能 #4492: 注册窗口强制校验Carried，可配置

行为

功能 #4848: 上下片后，旋转平台执行回零动作。

行为

功能 #5176: JEL托举式机械手二次取放开发

行为

需求 #2069: LoadPort位置增加物理按钮控制Load、UnLoad，方便装卸lot

行为

需求 #2832: VIS4中，Lot相关功能独立至EFEM项目中，VIS无法直接获取Lot相关信息，导致该功能丢失

行为

需求 #3148: 预对准上有样片或真空没样片但真空开启 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作

行为

需求 #3454: 1.3 界面整改

行为

需求 #3506: EFEM 上片时，在准备送上平台时，长时间未送上平台，需要增加停止流程功能

需求 #3718: 报错提示需要明确

需求 #3820: 恢复功能页面设计

需求 #3943: EFEM增加重复测试

需求 #4142: 在load过程中，Smif盒的基板不在正常位，人为修正基板位置后，Smif回零操作简单化

行为

需求 #5347: 校验Carrid和Slotid

需求 #5348: 生产页面增加扫片功能

设计 #3455: 1.3 客户端设计

设计 #3525: 配置客户端

预期时间	590.00 小时
耗时	307.00 小时

项目

一般

简介

9.EFEM(设备前端模块)