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需求 #6620

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志和项目EFEM改造

由 蒋毅 在 大约一个月 之前添加. 更新于 14 天 之前.

状态:
已解决
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-11-12
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
志和

描述

1.支持Wafer和Frame上下片
2.Frame无需经过预对准。

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 #1

由 蒋毅 更新于 14 天 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已解决
  • 指派给 从 蒋毅 变更为 刘旭伟
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 #2

由 刘旭伟 更新于 14 天 之前

1.Wafer上下片测试和8寸Ferame上下片测试已通过，因发货排班预留时间不足，仅进行了8寸Ferame的单片生产测试
2.Ferame上片无需经过预对准已通过测试

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