由 蒋毅 在 4 个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.
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描述
第二台REJE整机需要部署。等刘岩环境搭好,安装软件,模拟测试。同时找REJE厂商学习拟合机械手标定。
子任务 11 (0 打开 — 11 已关闭)
部署前,需检查:1.是否提供两个loadport、Aligner、机械手臂的真空2.是否整机上料位(平台)InterLock短接3.是否提供模拟固定平台。4.上下片机械手点位是否标定正确。
8寸晶圆平台放置后偏移的问题,还未通知测试验证
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