9.EFEM(设备前端模块)

9-22验证：
昨晚测试unload ACS异常情况：
1.在平台移出前触发ACS的KillAll。平台能正确移动到移出位置。无有任何提示。
2.在平台移出时触发ACS的KillAll。平台不能正确移动到移出位置。无有任何提示。
3.移出前断连ACS Driver，平台不能正确移动到移出位置。提示通讯处理异常，需要Home。
4.同时多次下发平台移出/移入指令。平台正确依次执行。无任何提示。
5.手动断掉某个轴使能。平台不能正确移动到移出位置。提示该轴的使能Disable。
6..移出前ACS软件强退。平台能正确移动到移出位置。无任何提示。
7.移出前ACS在配置某个轴页面强退。平台不能正确移动到移出位置。提示某个轴的使能Disable。
8.使用EFEM上片，静置一晚，早上观察平台未掉使能。

9-23：
增加监听平台轴 Disable信号。先定位何时导致的轴Disable，
需安装EFEM1.3.40012版本

9-25：
中微机台出现 下片ACS急停问题
排查原因夹具与镜头有干涉，导致平台急停。

55所 下片平台认为存在抖动，机械手急停。
排查下来，猜测继电器不稳定，先替换继电器，在观察。

9-29：
55所反馈继电器更换后，仍不行。
还需排查

9-30：
排查结果为报表控制面板未被屏蔽，导致客户操作平台，致使机械手急停