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9.EFEM(设备前端模块)
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9.EFEM(设备前端模块)
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需求 #2069
已关闭
LoadPort位置增加物理按钮控制Load、UnLoad,方便装卸lot
由
唐飞
在
超过一年
之前添加. 更新于
2 个月
之前.
状态:
已关闭
优先级:
低
指派给:
钱忠祥
目标版本:
1.3
开始日期:
2024-01-03
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
机台点位
:
全局
历史记录
更改属性
行为
复制链接
#1
由
钱忠祥
更新于
12 个月
之前
优先级
从
普通
变更为
低
行为
复制链接
#2
由
钱忠祥
更新于
12 个月
之前
跟踪
从
5
变更为
设计
项目
从
3.VIS 4
变更为
9.EFEM(设备前端模块)
目标版本
从
4.3
变更为
1.2
行为
复制链接
#3
由
钱忠祥
更新于
10 个月
之前
跟踪
从
设计
变更为
需求
目标版本
从
1.2
变更为
1.3
机台点位
被设置为
全局
行为
复制链接
#4
由
钱忠祥
更新于
2 个月
之前
状态
从
新建
变更为
已关闭
行为
复制链接
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