需求 #3148: 预对准上有样片或真空没样片但真空开启 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作 - 9.EFEM(设备前端模块) - BTS (问题跟踪系统)

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需求 #3148

已关闭

预对准上有样片或真空没样片但真空开启 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作

由钱忠祥在 8 个月之前添加. 更新于 2 个月之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

目标版本:

开始日期:

2024-09-20

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

机台点位:

全局

相关的问题 1 (0 打开 — 1 已关闭)

行为

#1

由钱忠祥更新于 8 个月之前

关联到 错误 #3128: 1.ID扫码设备连接失败，建议EFEM 初始化的时候，作出校验 2.样片放到预对准处，ID设备未连接，此时扫码，提示设备连接失败，EFEM会再一次初始化，需要对异常作处理 3.预对准上有样片或有真空没样片 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作已添加

行为

#2

由钱忠祥更新于 2 个月之前

状态从新建变更为 已关闭

行为

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