错误 #6184: 中芯四号机的Smif不能识别带膜掩模板的正常在位情况，需要调整Smif的在位传感器 - 9.EFEM(设备前端模块) - BTS (问题跟踪系统)

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错误 #6184

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中芯四号机的Smif不能识别带膜掩模板的正常在位情况，需要调整Smif的在位传感器

由刘旭伟在 23 天之前添加. 更新于 22 天之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

目标版本:

开始日期:

2025-09-23

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

24.00 小时

机台点位:

全局

描述

Smif在搬运带膜的掩模板时，因厚度增加，Smif传感器不能正常识别基板的在位情况，需要再次调整传感器。

行为

#1

由刘旭伟更新于 22 天之前

指派给 从 蒋顺国 变更为 刘旭伟

行为

#2

由刘旭伟更新于 22 天之前

蒋工协同厂商完成调试，铝板、掩模标准版、带膜掩膜版测试后未见异常，发机前持续观察中。

行为

#3

由刘旭伟更新于 22 天之前

状态从新建变更为 已关闭

行为

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