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错误 #3734

已关闭

先在EFEM页面从CassetteB手动上片，然后在VIS中进行检测，检测完了后，使用Transfer功能将检测平台上的基片转运到CassetteA中，提示错误信息“the source substrate isnot exist”

由 张萍 在 4 个月 之前添加. 更新于 4 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
周玉鹏
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-01-13
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

文件

clipboard-202501130950-te0se.png (1.59 MB) clipboard-202501130950-te0se.png 张萍, 2025-01-13 01:50
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 #1

由 张萍 更新于 4 个月 之前

  • 主题 从 先在EFEM页面手动上片，然后在VIS中进行检测，检测完了后，使用Transfer功能将检测平台上的基片转运到CassetteA中，提示错误信息“the source substrate isnot exist” 变更为 先在EFEM页面从CassetteB手动上片，然后在VIS中进行检测，检测完了后，使用Transfer功能将检测平台上的基片转运到CassetteA中，提示错误信息“the source substrate isnot exist”
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 #2

由 钱忠祥 更新于 4 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已解决
  • 指派给 从 钱忠祥 变更为 周玉鹏
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 #3

由 周玉鹏 更新于 4 个月 之前

  • 状态 从 已解决 变更为 已关闭
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