需求 #6676: 日月星项目EFEM改造
由 蒋毅 在 14 天 之前添加. 更新于 7 天 之前.
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找刘岩提供12寸Frame片,至少2片。
12-08临时测试牙叉不适配:仅测试屏蔽真空下,上下Loadport。结果为,能够正常上下片,有剐蹭。stage平台存在问题,未测试上下片。
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