功能 #6728: 日月星Demo整机上下片调试 - 9.EFEM(设备前端模块) - BTS (问题跟踪系统)

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功能 #6728

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需求 #6676: 日月星项目EFEM改造

日月星Demo整机上下片调试

由蒋毅在 14 天之前添加. 更新于 7 天之前.

状态:

新建

优先级:

普通

指派给:

目标版本:

开始日期:

2025-12-01

计划完成日期:

2025-12-07 (7 天延期)

% 完成:

0%

预期时间:

20.00 小时

机台点位:

全局

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#1

由蒋毅更新于 14 天之前

找刘岩提供12寸Frame片，至少2片。

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#2

由蒋毅更新于 14 天之前

跟踪从需求变更为功能
主题从 日月星Demo整机上下片测试 变更为 日月星Demo整机上下片调试
指派给 从 刘旭伟 变更为蒋毅
预期时间 被设置为 20.00 小时

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#3

由蒋毅更新于 7 天之前

12-08
临时测试牙叉不适配：
仅测试屏蔽真空下，上下Loadport。结果为，能够正常上下片，有剐蹭。
stage平台存在问题，未测试上下片。

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