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9.EFEM(设备前端模块)
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功能 #4848
已关闭
上下片后,旋转平台执行回零动作。
由
蒋毅
在
大约一个月
之前添加. 更新于
大约一个月
之前.
状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-06-17
计划完成日期:
2025-06-18
% 完成:
0%
预期时间:
16.00 小时
机台点位
:
全局
描述
为旋转台上下片角度同取放角度一致。
历史记录
更改属性
行为
复制链接
#1
由
蒋毅
更新于
大约一个月
之前
状态
从
新建
变更为
已解决
指派给
从
蒋毅
变更为
刘旭伟
行为
复制链接
#2
由
刘旭伟
更新于
大约一个月
之前
状态
从
已解决
变更为
已关闭
行为
复制链接
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