9.EFEM(设备前端模块)

10-21：
1.已和电气连调确认 回零、开盒、关盒、加锁、解锁动作。
2.基板和片盒传感器均又问题，待电气更改。
3.增加新的错误码地址。

1.提篮开启的触发位很小，一点微动就显示打开。
2.铝板、玻璃板、掩模板、空的在位均可识别，但空盒关盒后会显示有片。
3.片盒中的基片位置不固定，容易影响上片位置，造成干涉报错。
4.LP报错的错误码需要细分原因。