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错误 #3759

已关闭

No-Buffer模式,LPA-UnRunning状态,LPB-UnRunning状态,打开生产检测页面,点击LPA盒中的Register按钮,等基片检测完了,机械手从检测平台下片后生产检测页面闪退,EFEM页面报错“TargetSlotIndex exits”

张萍4 个月 之前添加. 更新于 4 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2025-01-14
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

No-Buffer模式,LPA-UnRunning状态,LPB-UnRunning状态,打开生产检测页面,点击LPA盒中的Register按钮,等基片检测完了,机械手从检测平台下片后生产检测页面闪退,EFEM页面报错“TargetSlotIndex exits”


文件

钱忠祥 更新于 4 个月 之前

  • 状态新建 变更为 已解决
  • 指派给钱忠祥 变更为 张萍

张萍 更新于 4 个月 之前

在更新后的软件包进行验证,问题不发生。

行为

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