错误 #6188: 中芯五号机的Smif不能识别带膜掩模板的正常在位情况，需要调整Smif的在位传感器 - 9.EFEM(设备前端模块) - BTS (问题跟踪系统)

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错误 #6188

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中芯五号机的Smif不能识别带膜掩模板的正常在位情况，需要调整Smif的在位传感器

由刘旭伟在 22 天之前添加. 更新于 22 天之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

目标版本:

开始日期:

2025-09-24

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

24.00 小时

机台点位:

全局

描述

Smif在搬运带膜的掩模板时，因厚度增加，Smif传感器不能正常识别基板的在位情况，需要再次调整传感器

行为

#1

由刘旭伟更新于 22 天之前

发机前经江工蒋工确认，调试完成，可以正常识别。

行为

#2

由刘旭伟更新于 22 天之前

状态从新建变更为 已关闭

行为

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