行为
功能 #5818
已关闭上海传芯Storm3000U-1 - 需求 #5783: EFEM界面 carry ID需要包含操作员信息,smif号以及lot号,输入时需要分三个输入窗口。并且在web报表可追溯信息
生产模式支持分别输入Operator、SmifId、LotId
行为
上海传芯Storm3000U-1 - 需求 #5783: EFEM界面 carry ID需要包含操作员信息,smif号以及lot号,输入时需要分三个输入窗口。并且在web报表可追溯信息