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错误 #6742

已关闭

Recipe中EFEM相关参数问题

由 蒋毅 在 11 天 之前添加. 更新于 4 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-12-04
计划完成日期:
2025-12-05
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

1.预对准角度和放回对准角度永远启用。
2.转运相关参数隐藏，EFEM1.3不再使用。

文件

clipboard-202512041335-epnzh.png (75 KB) clipboard-202512041335-epnzh.png 蒋毅, 2025-12-04 05:35
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 #1

由 唐飞 更新于 11 天 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已解决
  • 指派给 从 唐飞 变更为 蒋毅

4.4.1Test r12517

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 #2

由 蒋毅 更新于 10 天 之前

  • 指派给 从 蒋毅 变更为 刘旭伟
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 #3

由 刘旭伟 更新于 4 天 之前

  • 状态 从 已解决 变更为 已关闭
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