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功能 #6679

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需求 #6676: 日月星项目EFEM改造

开发自研的LoadPortVPTekV2组件

由 蒋毅 在 26 天 之前添加. 更新于 14 天 之前.

状态:
进行中
优先级:
普通
指派给:
蒋毅
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-11-19
计划完成日期:
2025-12-31 (截止日期到 17 天)
% 完成:

0%

预期时间:
20.00 小时
机台点位:
全局

描述

1.分析接口地址
2.支持提栏信号、凸片信号、在位信号等
3.支持区分Frame和Wafer

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 #1

由 蒋毅 更新于 14 天 之前 · 已编辑

  • 状态 从 新建 变更为 进行中

已经和电气单独连调过，待整机测试

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