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错误 #6190

已关闭

中芯5号机EFEM环境异常

由 刘旭伟 在 22 天 之前添加. 更新于 21 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-09-22
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

中芯五号机的EFEM在测试组件功能时，发现
Smif联锁信号异常：调试工具无法连接，屏蔽急停信号后，连接报错
机械手联锁信号异常：急停极易触发，无法通过正常方法解除，只能更换短接联锁信号的接头。
R轴原点信号异常：机械手写入R轴原点信号后，其他组件工具通讯不通过，通讯后触发急停
初步排查发现PLC中对应信号没有触发，需要生产检查接线

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 #1

由 刘旭伟 更新于 22 天 之前

9月22日电气强工排查后重新接线，暂未发现其他问题，发机前持续观察中

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 #2

由 刘旭伟 更新于 21 天 之前

发机前机械手有异常，以由应用确认，到场后厂家派人现场协同处理

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 #3

由 刘旭伟 更新于 21 天 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭
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