行为
错误 #3733
已关闭配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20,点击Run按钮,提示错误信息“there a Task is runing”;然后选择基片进行上片操作,仍提示错误信息“there a Task is runing”
描述
配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20,如下图,点击Run按钮,提示错误信息“there a Task is runing”。
LPB盒为UnRunning状态,手动选择一个槽位中的基片,点击Load按钮进行上片操作,提示错误信息“there a Task is runing”。
点击Reset按钮进行重置,问题仍然存在。关闭EFEM_Service,重启启动服务,问题不再发生。
文件
由 张萍 更新于 4 个月 之前
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- 主题 从 LP盒为UnRunning状态,手动选择一个槽位中的基片,点击Load按钮进行上片操作,提示错误信息“there a Task is runing” 变更为 配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20,点击Run按钮,提示错误信息“there a Task is runing”;然后选择基片进行上片操作,仍提示错误信息“there a Task is runing”
- 描述 已更新。 (差异)
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