行为
错误 #4867
打开EFEM位置传感器报错急停后，使用Cleanloader.exe软件完成松爪，松爪完成后，使用示教器抽回机械手，示教器无法使用
描述
旋转台水平传感器检测未到位后，机械手放片停止，使用Cleanloader.exe打开松爪工具，松爪完成，接着使用示教器抽回机械手时，示教器无法进入示教模式，电箱报错301/401/403/406，电箱断电后再通电，才能解除报错信息并恢复示教器的使用（后续多次未能复现）
没有任何数据可供显示
行为
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旋转台水平传感器检测未到位后，机械手放片停止，使用Cleanloader.exe打开松爪工具，松爪完成，接着使用示教器抽回机械手时，示教器无法进入示教模式，电箱报错301/401/403/406，电箱断电后再通电，才能解除报错信息并恢复示教器的使用（后续多次未能复现）
没有任何数据可供显示