行为
错误 #5993
已关闭功能 #5586: 部署REJE EFEM整机
二所REJE整机EFEM,关盒后Reset,再上片会触发未定义错误62并报警
描述
重启服务后,对任意LP位置的Foup开盒扫片,再执行Reset操作,会出现“undefininition62”系列报错,并触发蜂鸣器报警。
文件
行为
功能 #5586: 部署REJE EFEM整机
描述
重启服务后,对任意LP位置的Foup开盒扫片,再执行Reset操作,会出现“undefininition62”系列报错,并触发蜂鸣器报警。
文件