晶圆尺寸：2、3、4、6寸；Wafer类型：光刻后图形片，手动上下片；有图形圆片2D缺陷检测；CD及套刻测量；自动测量Wafer 是指定点的线宽及套刻精度，测量点数根据程式定义。
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管理: 刘军, 刘岩, 刘康明, 钱忠祥
开发工程师: 丁亮, 于剑, 冷曦, 刘军, 刘庄, 刘康明, 刘建明, 周文彩, 唐飞, 尤亚刚, 张向彬, 张张俊礼, 张端彬, 张鹏康, 徐东亮, 徐特, 施捷, 杨冰冰, 王建祥, 白瑞德, 董礼, 蒋毅, 谢延义, 谷全驰, 钱忠祥, 陆涛, 陈士汉, 光学, 电气, 算法, 结构, 软件
测试工程师: 刘旭伟, 周玉鹏, 张威, 张萍, 熊春响, 谷文静, 郭笑, 测试
项目经理: 俞晨羲, 刘岩, 张彦鹏, 曾献彬, 王梦, 陈仪华, 项目