刘旭伟

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12:12 中电55所 STORM 3000A 错误 #5154: 55所Smif通讯连接不上: 55所已解决，新装机用于软件测试的3000系列使用的Smif需要更换主板，已通知厂商售后刘旭伟

01:09 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4277 (已关闭): 多端指令，load过程中用示教器操作机械手时，机械手动作会被打断，EFEM_UI界面无针对性报错: 刘旭伟

09:57 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4868 (新建): load上片执行中，机械手与平台交互因传感器异常停止，使用Restore更新基板在位信息后，仍然无法Unload。: 上片过程中,机械手带片放至平台位置,平台垂直传感器报错，机械动作停止且未松爪，UI更新了基板的平台在位信息，用示教器抽回夹板状态的机械手后，使用Restore清除和更新基板的位置信息，UI完成基板的位置更新，此时执行Unload，下片未成功刘旭伟
09:46 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4867 (新建): EFEM位置传感器报错急停后，使用Cleanloader.exe软件完成松爪，松爪完成后，使用示教器抽回机械手，示教器无法使用: 旋转台水平传感器检测未到位后，机械手放片停止，使用Cleanloader.exe打开松爪工具，松爪完成，接着使用示教器抽回机械手时，示教器无法进入示教模式，电箱报错301/401/403/406，电箱断电后再通电，才能解除报错信息并恢... 刘旭伟
09:25 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4723 (已关闭): 机械手在转移晶圆的过程中服务掉线，机械手报错，无法使用EFEM的服务进行复位: 刘旭伟
01:48 9.EFEM(设备前端模块) 功能 #4848 (已关闭): 上下片后，旋转平台执行回零动作。: 刘旭伟

00:36 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4750 (已关闭): 调试工具debug中的Transfer without Inspect，跑片循环【Run】和生产循环【ProdRun】都无法使用: 刘旭伟

05:14 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4750 (已关闭): 调试工具debug中的Transfer without Inspect，跑片循环【Run】和生产循环【ProdRun】都无法使用: 调试工具debug中的Transfer without Inspect，跑片循环Run和生产循环ProdRun都无法使用，UI出现错误提示，错代码为：Unexpected character encountered while par... 刘旭伟

09:43 9.EFEM(设备前端模块) 错误 #4724 (已关闭): Debug模式中，空CassettB执行循环跑片（Run）后报错，切换为正确的Cassett（A），Run与Stop都无法执行: 刘旭伟

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