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此项目需求为掩模版颗粒度检测设备，主要功能是检测6寸掩模版石英上表面和pellicle下表面的洁净度，即附着颗粒物的大小、数量及分布，并按要求输出掩模版表面洁净度检测结果报告和数据。
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管理: 俞晨羲, 刘军, 刘庄, 刘康明, 周庆, 周文彩, 张端彬, 徐特, 杨俊毅, 钱忠祥, 光学
开发工程师: 丁亮, 于剑, 冷曦, 刘军, 刘庄, 刘康明, 刘建明, 周文彩, 唐飞, 尤亚刚, 张张俊礼, 张端彬, 徐东亮, 徐特, 施捷, 杨俊毅, 杨冰冰, 王建祥, 白瑞德, 董礼, 蒋毅, 谢延义, 谷全驰, 钱忠祥, 陈士汉, 光学, 电气, 算法, 结构, 软件
测试工程师: 周庆
项目经理: 俞晨羲, 刘岩, 张彦鹏, 曾献彬, 王梦, 陈仪华, 项目