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自动测量Wafer指定点的线宽及套刻精度，测量点数据根据程式定义
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开发工程师: 丁亮, 于剑, 冷曦, 刘庄, 唐飞, 张张俊礼, 施捷, 杨冰冰, 王建祥, 白瑞德, 董礼, 蒋毅, 谢延义, 钱忠祥, 软件
运维: 伍浩, 刘得敏, 周庆, 周鵬成, 张向彬, 张鹏康, 杨巧, 梁爽, 罗鑫, 肖尧, 蒋志平, 金陈华, 运维