项目

一般

简介

概述

Mask尺寸：6寸（6009、6012、6025）、7寸（7009、7012、7015）、9寸（9012，图形有效区域＜8寸）；厚度范围：支持0.09英寸、0.12英寸、0.25英寸三种规格；
Mask图形线宽测量；
测量项：圆形（测量圆的直径、圆度）；矩形（测量矩形边长）；线条（线条、线缝测量；水平、垂直线测量；斜线测量）
物镜：5X、20X、50X

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成员

管理: 刘军, 刘康明, 钱忠祥

开发工程师: 丁亮, 于剑, 冷曦, 刘军, 刘庄, 刘康明, 刘建明, 周文彩, 唐飞, 尤亚刚, 张张俊礼, 张端彬, 徐东亮, 徐特, 施捷, 杨冰冰, 王建祥, 白瑞德, 董礼, 蒋毅, 谢延义, 谷全驰, 钱忠祥, 陈士汉, 光学, 电气, 算法, 结构, 软件

项目经理: 俞晨羲, 刘岩, 张彦鹏, 曾献彬, 王梦, 陈仪华, 项目