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3.VIS 4
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3.VIS 4
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错误
341/369
功能
67/74
需求
42/57
设计
13/15
相关的问题
错误 #3531
: 只有小Z机台cd 做检测 ,5X作为粗对准 100X精对准,5X对准点聚焦、框选完 小Z回零 ,再用100X聚焦 ,导致100X无法聚焦。
行为
错误 #3566
: 3D机台改为高精度后,采集Golden报错
行为
错误 #4058
: 3D检测插件返回频率为浮点型,导致检测失败
行为
错误 #4123
: 平台移动时相机视口卡顿,不流畅
行为
错误 #4182
: 优化:拟合聚焦采集Mark点,选择Mark尺寸,加个下拉框,可选择预设好的尺寸,可手动输入尺寸
行为
错误 #4198
: 检测平台在运动 没有禁用摇杆使用
行为
错误 #4199
: 如果摇杆是这样固定,调用X、Y平台方向需要反一下,摇杆操作需要与相机视口移动方向一致
行为
错误 #4200
: 操作VIS 软件摇杆使用,相机视口画面移动有顿挫感,打开相机软件 操作摇杆,没有顿挫感
行为
错误 #4201
: 切换镜头,摇杆默认中速
行为
错误 #4202
: 软件退出,摇杆使用自动关闭失效
行为
错误 #4282
: 使用手工测量工具替换不同类型的当前测量结果时,测量结果要么失败要么错误
行为
错误 #4294
: 由于自动测量结果可以替换,手工测量结果不可以替换,所以手工测量结果和自动测量结果页面建议分开显示,当前显示在一个页面区分不了
行为
错误 #4313
: 开始检测后,CD界面需要增加蒙层。禁止操作
行为
错误 #4327
: 在两点中心测量页面点击Point1,再在已有的测量结果中双击X和Y都是0的结果,数据加载到两点中心测量页面,ID显示正确,但是X和Y为空,不显示数值,点击确定按钮有计算结果
行为
错误 #4328
: 两点中心测量页面,当前双击圆测量的测量结果作为其中一个point的数据时报错类型不匹配,建议可以成功添加圆测量的XY数据作为两点中心测量其中一个点的数据
行为
错误 #4349
: 在两点中心测量页面,选中Point2,再双击测量结果中CD线宽测量的结果,没有任何反应
行为
错误 #4366
: 关闭软件确认弹窗没有置顶,会被软盘遮住,导致无法进行任何操作
行为
错误 #4368
: 优化:建议加一个控制软盘打开和关闭的按键
行为
错误 #4369
: 切换摇杆速度挡位按键,只能切换N和H档,L档丢失
行为
错误 #4372
: 软盘切至5X镜头,然后启动CD测量(50X镜头),软件会自动切换至50X镜头,但软盘上显示当前使用镜头不正确
行为
错误 #4377
: 点击【移入】在平台移入的过程中再点击前后左右移动,系统会报错
行为
错误 #4382
: 通过控制面板:①右键点击移入(打开真空后移入平台) 或者 ②右键点击移出(移出平台后关闭真空),软盘上显示的真空状态不正确
行为
错误 #4410
: 测试RoiEditor兼容性
行为
错误 #4444
: VIS_4.3.9_ToolSet分支,手动套刻测量参数界面优化
行为
错误 #4445
: 打开软件出现插件读取失败的情况(偶现)
行为
错误 #4572
: CD测量 - Recipe界面点击程式测量,报错:NoMarkMatchLayer,复现步骤见详细描述
行为
错误 #4621
: CalcAgent1.1无法自动启动CalcUnit V4.3.9
行为
错误 #4627
: CD测量,实际检测区域和ROI框选区域有偏差
行为
错误 #4628
: CD手动测量页面和ROIEditor中的GrayCD算法页面不一致
行为
错误 #4632
: 登录界面,部分字符串显示错误,手动切换中英文后才可以正常显示
行为
错误 #4636
: 当前有两个Die测量点ROI1和ROI2,删除测量点ROI1,原先的测量点ROI2自动变成ROI1,但golden图显示错误,显示的还是已删除的原先测量点ROI1的golden图
行为
错误 #4644
: 圆测量参数:最小面积、最大面积阈值卡控错误(测量圆面积在当前阈值范围内,圆测量失败)
行为
错误 #4655
: CD测量 - Die测量点添加超过10个,测量结果和测量点位对应关系错乱
行为
错误 #4681
: CD测量 - 算法设置如果将测量点方向选错,测量结果界面异常(这种情况下应该显示测量失败,而不是出现异常界面)
行为
错误 #4683
: 通过软盘打开摇杆,摇杆控制不生效
行为
错误 #4685
: 点击矩阵键盘上的摇杆控制按键无效
行为
错误 #4691
: VIS已注册快捷键异常,打开根目录Ctrl+Shift+V、打开Setup文件夹Ctrl+Shift+S、打开Recipe文件夹Ctrl+Shift+G,文件夹会重复打开
行为
错误 #4753
: 畸变校正弹窗内外未自适应
行为
错误 #4754
: 点击Distorted image按钮,报错:"未将对象引用设置到对象的实例"
行为
错误 #4755
: 点【畸变矫正测试】按钮后,窗口应该切换至畸变矫正测试界面
行为
错误 #4758
: 计算畸变校正时,偶现报错:"函数执行超时,计算失败!"
行为
错误 #4804
: 优化:畸变校正-重置视图后,建议清空ROI
行为
错误 #4894
: 配置好算法设置后,点击【程式测量】提示“序列不会包含任何序列”
行为
错误 #4899
: 点击recipe名称不可以切换当前recipe的检测结果
行为
错误 #4919
: 将MeasurePoint的第一行左ROI关联ROI后,测量结果中没有从指定的ROI中取测量线,还是从图中最左边的ROI取测量线的
行为
错误 #4920
: ROI List中有多个ROI,启动检测后测量结果失败,查看VIS的日志报错“Index out of range”
行为
错误 #4924
: 删除已有的golden图,重新采图并进行算法设置,启动检测后检测失败,查看VIS日志报错“索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小”
行为
错误 #4927
: 套刻程式启动检测后测量中和测量完了后显示测量结果的时候,VIS中间列的图标选中的是相机图标,应该选中的是测量图标
行为
错误 #4969
: 【系统设置】 - 平台旋转中心为空的情况下,点击确认按钮不应该报错
行为
错误 #4992
: 测量结果的折线图中只显示自动测量的结果,但是右侧的测量结果分析的数据包含了手工测量结果
行为
错误 #5049
: 在已有的recipe中重新添加一个Die测量点和golden图,并在算法设置中依次配置inner图层和outer图层,未关联ROI,检测失败,计算单元日志提示错误信息“The given key ‘Right’ was not present in the dictionary.”
行为
错误 #5054
: 重新添加Die测量点和golden图,正确配置InOverlay算法并框选对应ROI,启动检测后检测失败,日志文件报错“索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小。”
行为
错误 #5071
: 偶现:圆测量结果超出参数设定范围(例如:最大像素面积)
行为
错误 #5104
: 手动测量结果页面的序号不是从1开始,是用自动测量结果页面中最大的序号加1后的数值显示的
行为
错误 #5105
: 切换到手动测量结果页面时,折线图和数据分析的数据仍保留自动测量的结果
行为
错误 #5106
: 右击recipe名称,自动测量页面显示自动测量结果,使用CD手动测量生成手动测量结果后,点击自动测量按钮切换到自动测量页面,发现已有的自动测量结果没了
行为
错误 #5108
: CD和套刻测量结束后,自动测量页面中选中的是最下面的序列最大的那行数据,但标记第几张图片的数值是1
行为
错误 #5127
: 套刻程式启动检测后,配准成功后,一直卡住不继续测量
行为
错误 #5141
: DB支持CD测量 - 创建数据准备,无法修改测量参数
行为
错误 #5147
: CD手动测量 - 圆测量结果不正确
行为
错误 #5159
: 3D的检测输出目录由3DRaw变更为InspectDefectImgs
行为
错误 #5163
: CD测量 - 点【程式测量】报错:“未将对象引用设置到对象的实例”,自动测量结果也被清掉
行为
错误 #5167
: 基片翘曲度检查参数 - ①安全高度阈值、平整点位坐标无法输入负值 ②删除平整点位坐标,仅剩一个坐标点位时无法删除
行为
错误 #5173
: CD测量 - Die上多测量点,只要有测量点测量失败,左下角map图上的die应该用红色标记(目前检测发现:die上多测量点,最后一个测量点成功用绿色标记,最后一个测量点失败用红色标记)M3、M4均需要修改
行为
错误 #5186
: 晶圆结构重置后,检测Die超出晶圆结构,点击Recipe进入设置界面,提示文案优化:晶圆结构已更改,检测die超出晶圆结构范围
行为
错误 #5187
: CD测量 - ATF被动聚焦,测量点出现虚焦情况(手动移到该测量点位置,执行被动聚焦,可以找到清晰的焦面)
行为
错误 #5191
: 导入文件建议以excel表格导入
行为
错误 #5192
: 导出文件应该可以到文件夹的下一级,并且可以自定义保存的文件名称
行为
错误 #5193
: CD 圆手动测量,中心店坐标显示0,0 导致后面ROI位置不对
行为
错误 #5202
: JAI相机 - CD测量时关闭自动曝光
行为
错误 #5204
: 建议:只要软件不退出,手动测量结果不要自动清空
行为
错误 #5209
: CD测量 - 无法删除或清空手动测量数据
行为
错误 #5211
: CD测量 - 手动测量结果会叠加显示
行为
错误 #5223
: 4.3.9_Test每次软件重启后,平台都会执行home动作
行为
错误 #5224
: DB支持CD测量,测量参数的存放路径不正确,导致所有支持CD测量的数据准备都读取这一个CDJson文件
行为
错误 #5225
: DB支持CD测量,测量报错,测量任务无法终止
行为
错误 #5226
: DB支持CD测量,测量参数设置界面要支持最新的ROI
行为
错误 #5257
: CD手动测量,报错:序列号不包含任何元素(测水平线宽必现)
行为
错误 #5258
: CD手动测量 - 手动测量结束后,页面切到自动测量结果了
行为
错误 #5260
: 对准的时候,矩阵键盘可以切换镜头,移出平台的操作
行为
错误 #5261
: 对准后不关闭弹窗,点击stick按钮虽然是off状态,但仍可操作遥杆
行为
错误 #5270
: 多次删除已有的golden图重新采图或者更新golden图操作后,启动检测失败,日志报错“索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小。”(偶现)
行为
错误 #5285
: 矩阵键盘,点home键时,再点击平台移出或移入,home键一直显示run状态
行为
错误 #5297
: 三色灯显示不正确:就绪状态、运行状态、异常指示灯状态,灯塔均显示黄色
行为
错误 #5298
: 矩阵键盘按键及摇杆禁止操作场景:①对准过程中 ②检测过程中 ③平台Home、移入、移出过程中 ④镜头切换过程中
行为
错误 #5299
: 镜头切换,键盘按键上状态显示变换:①未使用显示off ②切换过程中显示run ③切换结束显示(成功on,失败off)
行为
错误 #5305
: CD算法设置里面切换一下golden图层软件会闪退,再次打开之后还会复制算法图层
行为
错误 #5306
: CD测量结果,手动测量替换报错
行为
错误 #5310
: DB支持CD测量 - 导入DP报错,调用的目标发生了异常
行为
错误 #5323
: 删除CD测量算法测参,AutoAngle自动矫正选项
行为
错误 #5324
: CD测量阈值默认50
行为
错误 #5341
: 用了相对偏移检测后,再点die定位,下面不显示golden图
行为
错误 #5342
: CD历史检测结果,重复性导出,excel表格排版修改
行为
错误 #5343
: 隐藏CD参数,AutoAngle
行为
错误 #5345
: 【程式测量】替换功能报错
行为
错误 #5352
: CD使用【根据Die定位】检测,会判断【根据相对偏移定位】检测的检测镜头
行为
错误 #5353
: 对准异常,点停止无效
行为
错误 #5357
: 选择CD001光源模块,只配置透射光插件,重启软件点击卡顿,不能正常使用
行为
错误 #5360
: CD测量 - 查看历史测量数据,map图未更新
行为
错误 #5368
: CD一个die上多个测量点,golden图光源类型不同,测量中,光源不会切换
行为
错误 #5376
: V4.3.9_TEST编译环境启动的VIS,点击退出按钮,再在确认弹窗中点击Yes按钮,页面卡住不继续动作了
行为
错误 #5377
: 3D打开历史记录报错
行为
错误 #5388
: 焦点检测过后再次点击没有执行动作
行为
错误 #5392
: 系统设置删除一条安全高度记录,【焦点检测】点击无效
行为
错误 #5395
: 点击程式测量按钮进行测量后,测量结果在手动测量页面第一行时,其序号却显示为M2
行为
错误 #5399
: 平整度不合适,软件检测报异常,再点就【焦点检测】无效
行为
错误 #5402
: 选择检测介质,只能切一次才能选到想要的介质上面走焦点检测,建议选中某个后点确认按钮
行为
错误 #5403
: 界面问题:①字体显示不全;②无效参数。
行为
错误 #5404
: 选择一个点位删除,提示让选择一个点位
行为
错误 #5407
: CD类型的程式,点击程式测量的替换当前按钮或者CD手动测量页面的替换当前按钮,都不会替换已选中的手动测量结果,而是新生成一条测量结果
行为
错误 #5409
: CD类型的程式有两个Die测量点,第2个套刻算法对应的测量点ROI2提示未找到Mark,手动点击跳过按钮,检测完了后自动测量结果页面没有测量点ROI2的测量结果
行为
错误 #5414
: 启用uv光进行检测,对准完后,任务异常结束
行为
错误 #5415
: 编辑InOverlay套刻算法,界面显示空,无法编辑也无法重新选择
行为
错误 #5421
: Table 'tornado_db.system_settings' doesn't exist,排查一下哪里调用了这张表(VIS4.3)
行为
错误 #5425
: 手动测量结果页面已经有多个测量结果,选中M1后在CD手动测量窗口或者程式测量窗口点击替换当前按钮,替换后的M1结果显示在最下面一行
行为
错误 #5427
: 选中手动测量结果中任意1条数据进行删除操作后,左边的图片仍是已删除的结果对应的图片
行为
错误 #5437
: 1.未选中状态,移入也能做寻点检测;2.选中某个基片,平台不移出点移入也能做寻点检测
行为
错误 #5438
: 基片选择窗口有时会遮挡启动窗口,导致界面无法操作
行为
错误 #5439
: 软件运行中,也可以切换基片类型
行为
错误 #5440
: 新增基片,提示名称重复,界面显示未有重复名称
行为
错误 #5444
: 单位显示的不对,应是mm
行为
错误 #5445
: 基片选择窗口可以打开多个
行为
错误 #5446
: 点位选择,选择一个点位有时会连带别的点位一块选上;选中一个点位,有时按删除无效
行为
错误 #5447
: 新增基板类型没有对命名做限制
行为
错误 #5448
: 移出的时候系统没有设为【未选择】,再次移入会报未选择基板
行为
错误 #5504
: 55所gds cd功能检测报聚焦超时
行为
错误 #5512
: 选中任意一个CD手动测量结果进行程式测量的替换当前操作,一直等待计算单元返回,不继续动作
行为
错误 #5514
: 先选中手动测量结果中的M1(对应算法是GrayCD算法的),再点击Die测量点ROI2(对应算法也是GrayCD算法)的程式测量的替换当前操作,仍提示“没有选择相同类型的测量结果进行替换”
行为
错误 #5522
: GDS支持CD测量,Golden信息:光源类型、曝光、亮度、颜色不允许手动修改
行为
错误 #5525
: 在系统设置里面添加样片信息,样片类型页面显示为空
行为
错误 #5526
: vis里面的Picasso.Alg这个库和GrayCD这个界面的版本不匹配,cd算法层为空
行为
错误 #5543
: JAI面阵关闭硬件后重置ROI
行为
错误 #5549
: 弹窗内容重复
行为
错误 #5552
: 已选择基片,平台移入后报未选择基片
行为
错误 #5553
: 日志里面没有打印测高点位的数据
行为
错误 #5555
: 移入界面有错误框弹出
行为
错误 #5560
: vis测量结果为0,日志里面显示有结果
行为
错误 #5570
: 平台移入状态下未勾选【基片切换】选择【基板】,再勾选上【基片切换】点移入会扫描点位,测高完成后移出平台,基片页面重新打开还是被置灰
行为
错误 #5582
: 读到的基板限位值和设置的不一致
行为
错误 #5592
: Picaaso.Alg,Picaaso.UI版本不匹配,套刻算法图层缺少roi坐标
行为
错误 #5593
: 光源插件隐藏光源颜色设置
行为
错误 #5595
: CD测量报错:平整检查阈值错误(系统设置 - 并未勾选检查基片平整度)
行为
错误 #5597
: cd手动测量报【序列不包含任何元素】
行为
错误 #5607
: VIS切换被动聚焦环境(基于图像清晰度),GDS支持CD测量时,没有执行被动聚焦
行为
错误 #5608
: VIS对准镜头、检测镜头和数据准备程式保持一致,检测时报错:检测镜头与数据准备检测镜头不一致!(数据准备编辑对准镜头从10X变成5X后,重新标记Mark点、重新框选测量区域保存,VIS重新选择DP可复现)
行为
错误 #5612
: 套刻测量在map图上的显示没和线宽测量做区分(之前显示的是回字形)
行为
错误 #5618
: 系统设置光源类型,uv光曝光给的上限时间不够使用
行为
错误 #5624
: 首次打开软件,面板没有显示光源类型(系统设置里面默认光源是勾选的)
行为
错误 #5625
: 修改 曝光时间后,点【历史设置】恢复记录,有错误弹窗
行为
错误 #5626
: 不勾选透色白光,以前的job对准(用了透射白光)仍可以对准成功
行为
错误 #5627
: 150x切5x时画面会过曝一下,然后再恢复正常
行为
错误 #5636
: vis打开后,直接点移入报错(系统设置勾选【切换基片】)
行为
错误 #5638
: 选择基片,启动检测,异常结束,报找不到基片配置信息
行为
错误 #5639
: 内容显示不全,单位冗余
行为
错误 #5640
: 不勾选【切换基片】重启软件后,移入平台会报未选择基片
行为
错误 #5641
: 【选择基片】窗口打开后,修改平整度阈值,选择基板移入,报高度不在传感器测量范围,再次移出移入选择同一个板子又报了安全
行为
错误 #5643
: 通过控制面板关闭光源失败
行为
错误 #5645
: CD程式,拷贝一个Recipe,打开Recipe更新某个测量点偏移,报错:未将对象引用设置到对象实例
行为
错误 #5649
: 新4.3.9test程式测量保错
行为
错误 #5662
: 新编译版本系统设置里光源类型参数不能编辑修改
行为
错误 #5663
: 自动测量,图片不清晰;检测结束后,点击【对准测试】报错
行为
错误 #5668
: 【讨论】测高结束后,移出平台,点击移动到Mark点位,可以移动,移动之前没有加判断
行为
错误 #5711
: CD采集golden图像正常,测量过程中图像过曝
行为
错误 #5734
: 检测结果跳过一个,检测不结束
行为
错误 #5744
: cd检测完成,右键切换检测结果map图没有跟着变
行为
错误 #5745
: cd配准失败,会跳过测量点1
行为
错误 #5750
: CD测量 - 执行CD测量每天会创建一个空的tbl_inspection_result表
行为
错误 #5752
: CD测量数据迁移,数据库tbl_inspection_cd_new表中的测量数据未迁出
行为
错误 #5763
: 无法查看已迁移走的CD测量历史数据,且加载框不会消失
行为
错误 #5764
: VIS_4.3.9Test数据服务弹窗同步V3
行为
错误 #5778
: [检测任务]矩阵键盘
行为
错误 #5782
: dp文件选择的是从查询日期的筛出来的文件,确认后报错
行为
错误 #5785
: 摇杆启用的图标黑色的摇杆图标
行为
错误 #5786
: 平台IN和OUT按钮,点击后,先显示黄色字体,表示在动作中,等成功到达移入点位或移出点位时,IN或OUT会显示绿底黑字
行为
错误 #5787
: 检测异常 蜂鸣响起 解除告警无效
行为
错误 #5808
: 启动检测时对准失败,提示光源类型不一致
行为
错误 #5811
: 移入移出 导致导致键盘倍镜状态没了
行为
错误 #5812
: 矩阵键盘禁止铃不生效
行为
错误 #5814
: [检测任务]CD测量速度
行为
错误 #5820
: 切换镜头报错
行为
错误 #5824
: 连续检测,中途acs异常需要home
行为
错误 #5829
: 在“threshold"输入小数,有错误框弹出
行为
错误 #5831
: 聚焦方式多了一个选项
行为
错误 #5846
: 重复性导出历史测量数据时,“生成数据中...”加载框不消失(偶现频率比较高)
行为
错误 #5847
: 重复性导出结果,Operator名称显示不正确
行为
错误 #5858
: cd的DB模式,对准和当前应用的光源参数一样,报光源不一致
行为
错误 #5859
: 4.3.9 die to golden检测结果翻页后报错
行为
错误 #5861
: 提示内容词语重复
行为
错误 #5865
: 内容显示不全
行为
错误 #5866
: 【被动聚焦mark0】要放到被动聚焦下面
行为
错误 #5868
: cd测量完成后结果定位,只移动xy, z没动,定位时要加上z
行为
错误 #5869
: 移入移出按钮要放大
行为
错误 #5885
: 输入框的位置需要全部对齐一下
行为
错误 #5888
: 检测成功的点位在map图上也被标记红色
行为
错误 #5891
: CD测量点采图时,出现OneShot wait too long,*****ResetFocus imgCur == null
行为
错误 #5899
: 系统设置保存的时候提示:10x不能为未启用光源
行为
错误 #5901
: 采集golden后offset的值是零
行为
错误 #5902
: 打开真空,点移入也报真空异常
行为
错误 #5905
: 无真空,执行对准、检测动作、镜头切换,无判断提示并且动作可以照常进行
行为
错误 #5913
: 控制面板:R轴角度输入框输入 1 ,回车R轴旋转1°,输入框内值变成0.221
行为
错误 #5914
: 第一个点位跳过检测
行为
错误 #5915
: DB支持CD测量 - 打印Error日志,见下截图↓
行为
错误 #5934
: CD线宽标定 - 导入标准线宽数据比较多的情况下,页面无法滚动导致无法生成保存数据
行为
错误 #5935
: 兼容自定义缺陷信息一栏的数据,比如自定义缺陷名称等
行为
错误 #5936
: 执行3D检测报错:无法达到目标灰度,请检查光源或参数设置(检测版本:VIS4.3.9_Test )
行为
错误 #5943
: 无真空报了真空异常,但是镜头可以切换
行为
错误 #5944
: cd检测结果上面会出现有两个光标,检测结果就会无法选中
行为
错误 #5948
: 手动圆测量 - 最小圆度设0.1,圆测量结果正常,最小圆度设置其它值,圆测量失败
行为
错误 #5961
: 手动圆测量 - 参数阈值目前无法设置为0,要支持设置为0
行为
错误 #5962
: 光源模块设置点击报错
行为
错误 #5963
: 程式测量调用无配准图层算法测量失败,报内存不足(磁盘还有93G)
行为
错误 #5968
: 【系统设置】- 【镜头设置】 - 【面阵视场像素】文案描述多了一个像素
行为
错误 #5969
: 采集两个golden图设置无配准,勾选平均光源亮度,测量点位2报找不到mark
行为
错误 #5970
: cd测量勾选使用光源亮度,测量点位1的光源亮度时光源还没打开(对准完成后关闭光源)测量结果不对
行为
错误 #5982
: vis初始化成功,报真空异常
行为
错误 #5984
: 3D高度测量 - Recipe参数勾选仅测量,测量结束后没有显示高度测量结果
行为
错误 #5991
: 进入Recipe设置界面全屏后,返回按钮丢失
行为
错误 #5996
: 安装计算单元,配置文件多 两个反斜杠
行为
错误 #5998
: 软件退出后,矩阵键盘的AF和PF按钮还处于高亮状态
行为
错误 #5999
: 启动软件后,点击矩阵键盘光源按钮,光源打不开
行为
错误 #6007
: 对准执行被动聚焦及测量使用被动聚焦,控制面板被动没有高亮
行为
错误 #6011
: 平台移入状态 - 要禁止通过键盘切换基板
行为
错误 #6012
: 真空开着的情况下启动软件,键盘真空按钮不是打开状态
行为
错误 #6018
: 移入移出状态,真空异常,可以移动xy ,切换镜头,对准,移动到mark,定位等
行为
错误 #6019
: 无片子,移入报真空异常,移入平台异常,重新放上片子移入还报移入平台异常
行为
错误 #6021
: 真空正常,移入平台后,Z限位还是零(没勾选系统设置里面的切换基板)
行为
错误 #6024
: 系统参数 - 勾选切换基片或夹具,平台移出状态,不选择基片,点击【IN】按键,按钮一直处于移入中状态,键盘上左右按键均点击无相应了
行为
错误 #6026
: 系统参数 - 勾选切换基片或夹具,VIS界面选择基片,控制面板点平台移入,测距失败后,键盘的【IN】按钮一直高亮(移入中状态),导致其他按钮无法正常使用
行为
错误 #6027
: 平台移入状态 - 不能切换基板,但已选择的基板,键盘按钮应该是高亮状态
行为
错误 #6028
: 勾选切换基板,夹具上有片子,点移入报真空异常(真空正常)
行为
错误 #6029
: 真空异常,Z限位置为零,重启软件后,初始化acs msg失败(z还是被置为0)
行为
错误 #6031
: 初始化成功,报真空异常
行为
错误 #6032
: 启动软件,线阵相机插件初始化失败( 非UI线程全局异常)
行为
错误 #6045
: Roieditor分版本放入环境变量对应文件夹中,VIS需根据版本修改读取路径
行为
错误 #6049
: 移出状态,真空异常,基片选择窗口,不能选择基片,点击没反应,并且不选择片子也可以做移入动作
行为
错误 #6050
: 测量完成后,上传map文件的时候有报错信息
行为
错误 #6057
: 圆测量后,选择数据点击【结果导出】导出的是空白文件
行为
错误 #6059
: 测距失败,移出状态,选择其他基板,点移入,没执行移入动作并且还提示已失败
行为
错误 #6060
: z超过限位,error里面有日志输出,vis状态栏中也重复输出
行为
错误 #6061
: 真空异常之后,重启软件,无片子,移入平台不报真空异常,PLC返回的是true
行为
错误 #6062
: 打开基片选择窗口选择板子后,关闭窗口,点移入,提示选择板子,但是再打开基片窗口,是有选择板子的
行为
错误 #6063
: 测距完成,平台状态还是移出状态
行为
错误 #6065
: 圆测量图层没有绘制roi检测区域的时候,点击程式测量,会有弹窗报错
行为
错误 #6067
: 被动聚焦硬触发模式 - 控制面板处点击【被动聚焦】聚焦异常
行为
错误 #6068
: 1.结果导出,y的数值取错了,详见截图,2.将圆度和直径的值显示在导出结果中,去掉文件中没有用到的“radious”3.结果小数取值和vis保持一致,取一样的位数
行为
错误 #6070
: roi框选圆形roi,程式测量的时候提示“序列不包含任何匹配元素”
行为
错误 #6071
: 测距完成,界面还是置灰状态,没有释放
行为
错误 #6072
: 已是移入状态,点击移入后置灰页面后又释放,此时置灰有点多余
行为
错误 #6075
: 不勾选【切换夹具或基片】点移入提示要打开基板选择窗口
行为
错误 #6076
: 手动测量窗口,点击被动聚焦,框选ROI后,被动聚焦按钮卡死
行为
错误 #6077
: 字没显示全
行为
错误 #6078
: 对准失败报“camera one shot failed"
行为
错误 #6079
: 移入状态,真空正常,点击启动有时会报真空异常(判读有时会不正确),读取DM1101,返回的是false
行为
错误 #6084
: 没有框选roi的提示可以加上图层的名字,或者去掉前面的数组标号
行为
错误 #6086
: 切换程式,修改roi之后,启动程式测量会有弹窗错误
行为
错误 #6088
: 点击【被动】按钮后,不框选ROI,打开别的job,被动按钮还是高亮状态
行为
错误 #6090
: 点击【被动】按钮后,没框选roi,提示框消失后,可以做别的动作例如框选旋正,移动平台,被动按钮还是高亮状态
行为
错误 #6091
: 平台移入状态,应该是禁止切换基板的,目前通过键盘按键和VIS基板选择弹窗均可以切换基板
行为
错误 #6092
: 未选择基片,点移入按钮,提示语优化:请选择基片
行为
错误 #6093
: 平台移出状态 - 通过键盘选择基板,然后点【IN】移入按键,一直提示:请打开基片选择窗口
行为
错误 #6094
: 对准测试报错:Camera one shot failed
行为
错误 #6099
: 测量的时候再点测量,测量结果会多份
行为
错误 #6100
: 【移入】按钮方块看着像缺少边
行为
错误 #6103
: 一个die上测量两个点位,分别是横线条和竖线条,检测完成,map图上die是红色的
行为
错误 #6104
: 套刻不支持定位(定位没带z)
行为
错误 #6106
: 算法设置勾选了Auto,自动测量、程式测量,测线宽,有时测的结果不对
行为
错误 #6107
: InOverlay算法参数界面 - 隐藏参数LoopCount、SampleNumber,界面调整见↓截图
行为
错误 #6109
: 控制面板点击【移入按钮】弹出基片选择弹窗,点【x】关闭弹窗,不应该报:Waiting
行为
错误 #6110
: 2025-9-12 18:50开始CD持续检测 ,到2025-9-13 08:57一直报chuck真空异常
行为
错误 #6111
: 4.3.9tag测量db的cd测量,插件使用的是sensor,默认用主动聚焦,启动检测报找不到mark,应该没有这个提示语,而是聚焦插件的问题
行为
错误 #6118
: 切换光源,控制面板可切换至RE365,但键盘不可以
行为
错误 #6119
: 在KeyboardConfig.json文件中,设置AF按键不可见,但矩阵键盘上【AT按键】依然可见
行为
错误 #6126
: 查看CD测量历史数据,经常会报数据被清理或不存在
行为
错误 #6127
: 查看CD历史数据太慢了,70多个测量点,查询要时间要16~17秒
行为
错误 #6128
: 移入测距结果ok,启动检测又报不平整,两次结果不一致
行为
错误 #6131
: 软件盘点移入,测距完成不会改变移入状态
行为
错误 #6134
: 结果导出的圆直径显示错误
行为
错误 #6137
: 优化:将CD算法参数设置为默认,建议弹窗提示确认:是否将当前参数设置为默认?【确认】or 【取消】
行为
错误 #6141
: 手动测量,只有最后一条数据可以定位,其余不行
行为
错误 #6142
: 测量结果界面,鼠标悬停显示的提示内容是半径radius,并且显示的数值是X轴的值
行为
错误 #6145
: 不勾【HasGolden】做程式测量结果显示了行列
行为
错误 #6154
: cd的db模式也显示了【HasGolden】,之前的【应用当前设置参数】页面没了
行为
错误 #6155
: cd_gds模式检测,提示roi尺寸错误
行为
错误 #6158
: CD测量根据相对偏移定位 - 设置的光源类型在测量过程中并未生效
行为
错误 #6164
: 算法设置,1.圆最大面积现在只能输入9999 2.相关属性参数放到一起,3.参考手动测量roi,设置各个参数的默认值
行为
错误 #6185
: cd启动检测,任务中间停止,点击【结果导出】会报“集合已修改”
行为
错误 #6186
: 启动页面片子状态是一直是缺失(无在位传感器),建议先不显示此项
行为
错误 #6194
: 工具【cd标定】按钮点击报错
行为
错误 #6195
: 根据相对偏移采集golden启动检测,测量的点位的位置不对
行为
错误 #6198
: 软件退出,反射光源未关闭
行为
错误 #6199
: 根据die定位检测完成切到相对定位原来roi框选的图不正常(缩放比例变了)
行为
错误 #6200
: 点击roi后,移动平台再框选roi,roi 按钮就一直绿色状态
行为
错误 #6201
: 手动测量替换当前数据点取消后,原数据也不存在了
行为
错误 #6203
: 双击相对偏移点位,手动测量后,点击定位移动的位置不对
行为
错误 #6204
: 基于sensor主动聚焦,db_cd测量报没配置插件
行为
错误 #6205
: cd_gds测量、根据die检测测量,检测位置都不正确
行为
错误 #6206
: 点击平台移入报错:①移动异常 ②移入平整度检测异常 ③Stage in error ,复现步骤见详细描述
行为
错误 #6207
: CD测量 - 采集Gloden图时记录的光源类型枚举值错误,导致检测时提示:对准光源和Golden光源不一致
行为
错误 #6208
: ①CD测量结束后,测量点在Map图上的绘制位置不正确 ②添加检测点位,点位在map图上绘制的位置不正确
行为
错误 #6209
: 控制面板打开主动聚焦,手动测量再点聚焦,面板主动被动都高亮显示
行为
错误 #6211
: 手动测量导出数据,全部勾选,导出后只有后面四条数据
行为
错误 #6212
: 手动测量 - 选择聚焦,框选ROI,点击测量,被动聚焦完成后,没有测量结果
行为
错误 #6213
: CD测量 - hasGolden,程式测量报错:序列不包含任何元素
行为
错误 #6225
: 【系统设置】- 不勾选切换基片或者夹具,启动软件后,点【移入】按钮,平台移入后报错:Z轴超过了限位
行为
错误 #6227
: cd标定,【导出所有】导出后报“已生成”提示语不合适
行为
错误 #6228
: 线宽标定,导出后,再导入,报错
行为
错误 #6231
: 标定黑色竖线,计算导出导入后,其他3种类型也分别导入了
行为
错误 #6233
: 编辑CD_GDS文件,点击【下一步】报错:设计文件未指定或者不存在!(使用版本:DataPrepare_1.0_trunk_0918)
行为
错误 #6234
: CD_GDS检测模式,对准后导入DP文件报错:对准和GDSMark坐标偏差过大
行为
错误 #6236
: 线宽标定,导入标定文件测量结果没有应用上
行为
错误 #6237
: CD测量 - 根据die定位,检测时点位不正确
行为
错误 #6239
: 新机台无入口配置map类型,导致导出功能无法使用
行为
错误 #6241
: Recipe界面,双击【程式测量】按钮,软件闪退
行为
错误 #6242
: 打开软件,首次进入Recipe界面,点击【程式测量】,报错程式测量失败:发生一个或多个错误
行为
错误 #6244
: cd测量sensor被动聚焦步数步长调过后采图仍不清晰
行为
错误 #6245
: cd当前已有导入数据,导入标准文件后没有确认框
行为
错误 #6247
: 查看CD历史测量数据,测量点位在小map图上绘制位置不正确
行为
错误 #6248
: 勾hasgolden和不勾hasgolden【程式测量】按钮弹出后界面不统一
行为
错误 #6249
: 勾了hasgolden【程式测量】替换计算单元在等待返回
行为
错误 #6250
: 手动测量 - 测量完成弹窗确认测量结果报错:序列不包含任何匹配元素(复现步骤:启动软件,首次执行手动测量)
行为
错误 #6251
: 软件重启后,点击历史数据,双击加载后,定位测量数据,定位位置不对
行为
错误 #6252
: VIS界面最小化后再打开,线宽标定类型的tab栏丢失
行为
错误 #6255
: 查看CD历史数据定位的时候,光源打不开
行为
错误 #6256
: 手动测量 - 勾选聚焦,测量过程中切换自动测量和手动测量tab,报错:未将对镜引用设置到对象的实例(必现)
行为
错误 #6257
: cd两个recipe,第二个recipe成功测量几个点位后,停止,查看历史数据,报数据被清理或不存在
行为
错误 #6258
: 手动测量回字形套刻,确认结果页面结果是0,0,确认后有具体数字(确认页面值不正确)
行为
错误 #6259
: 启用主动聚焦,勾选hasGolden,自动测量时整个VIS界面卡死
行为
错误 #6260
: 优化:套刻测量结果显示不全
行为
错误 #6263
: 导入标定文件后,清空数据,再导入标准文件,线性度还显示已计算
行为
错误 #6267
: 3mark点对准,map图上少绘制了一个mark标记
行为
错误 #6268
: CD测量 - 根据相对坐标偏移定位,实际测量结果并不是在设定的基板测量点位进行测量的
行为
错误 #6269
: 平台移入报真空异常
行为
错误 #6270
: CD测量 - 导入数据准备报错:ROI框选区域超过视口大小
行为
错误 #6271
: 沿着X轴正方向移动坐标,相机视口下看的画面是往左下角移动的
行为
错误 #6272
: 对准测试 - 粗对准5X,精对准50X,50X镜头下主动聚焦还没聚清楚就开始报对准失败
行为
错误 #6273
: CD测量启用主动聚焦,聚焦过程中会出现Z轴超限位的情况
行为
错误 #6274
: 优化:创建支持CD测量的数据准备,如果测量参数未设置,点【完成】按钮时给出提示
行为
错误 #6276
: 画面过曝后,灰度值设低后自动亮度不能调整画面还是过曝
行为
错误 #6282
: 控制面板切换光源类型,曝光值出现错乱
行为
错误 #6283
: 自动测量检测完成后切到手动测量(无测量数据),切了两次,自动测量第一条数据显示窗口是黑图
行为
错误 #6287
: 【检测任务】控制面板处可控制光源能量
行为
错误 #6288
: 测量标定范围外的线宽,测量值为负数
行为
错误 #6289
: 更改控制面板上的光源能量后采集golden或框选Roi,测量时用的还是系统设置里面的亮度
行为
错误 #6290
: 编辑数据准备文件报错(偶现)
行为
错误 #6291
: 控制面板切换光源,从透射White切反射White时,透射光未关闭
行为
错误 #6293
: 平台移出,切换Job/Recipe后,需要:①R轴回零 ②置空对准状态 ③还原基板坐标原点
行为
错误 #6294
: 检测启动前,每个样片启动阶段校验磁盘空间是否大于50GB,否则报错不给检测
行为
错误 #6295
: CD_GDS测量,对准完成后,双击map图上的点位出现轴限位的情况(考虑坐标系转换问题)
行为
错误 #6296
: 3Mark对准 - 对准过程中移动到对准点后,面阵视口下没有刷新当前点位的显示画面
行为
错误 #6297
: 控制面板亮度变0,导致自动测量光标定从0开始,标定会失败
行为
错误 #6303
: 启用两点对准,需要清空涨缩值
行为
错误 #6304
: CD_GDS测量 - 编辑测量区域:放大GDS图框选测量区域,复位后查看框选的测量区域不正确
行为
错误 #6305
: 套刻【程式替换】,取消后原结果没有了
行为
错误 #6306
: 正交性标定计算结果不正确
行为
错误 #6307
: 软键盘上【主动聚焦】、【被动聚焦】能同时打开
行为
错误 #6311
: 报表点击报错;存图按钮也没反应
行为
错误 #6323
: 通过点击map图定位,定位方式不正确
行为
错误 #6324
: CD_GDS测量 - 选择DP文件弹窗,点击【Cancle】按钮无效
行为
错误 #6331
: 首次通过测试编译工具拉取4.3.9_Test代码,编译不成功
行为
错误 #6340
: 通过平台相对移动,移动坐标不正确
行为
错误 #6341
: 优化:手动测量 - 判断自动亮度状态是否打开,如果是打开状态,记录状态,测量时先关闭自动亮度,测量完成后再打开自动亮度
行为
错误 #6344
: 优化:①启动检测时,如果对准光源和采Golden光源不一致时,应该在检测前校验给出提示,不要在检测中抛异常 ②根据相对坐标偏移,不勾选hasGolden,框选ROI时,如果当前光源与对准光源不一致,给出提示:当前光源和对准光源不一致
行为
错误 #6351
: 对准完成后,点击移动到参考点,R轴回零了
行为
错误 #6352
: 对准完成后,控制面板切换低倍镜,点击左下角GDS-Map图点位,报错:未找到与当前镜头一致的对准策略
行为
错误 #6359
: CD_GDS测量 - 采集Golden信息,亮度值无法更新保存
行为
错误 #6363
: CD测量 - Job中包含多个Recipe,测量完成后查看历史数据,只有第一个Recipe可查看历史数据,其余Recipe查看历史数据时报错:数据被清理或不存在
行为
错误 #6364
: 手动测量 - 不需判断是否做过对准,也不需要判断当前光源和对准光源是否一致
行为
错误 #6370
: 输出状态栏 - 实现基板坐标和平台坐标的显示转换
行为
错误 #6371
: 插件Plugins.PLC.Keyence.dll的MD5值,通过测试编译工具打的包和手动打的包不一致
行为
功能 #2672
: VIS框架增加动态修改界面布局接口(菜单、ToolBar)
行为
功能 #3450
: ACS peg相关修改
行为
功能 #3466
: 3D 取消速度设定,改用自动计算方式获取最佳扫描速度
行为
功能 #3467
: 3d 取消像元大小设定,改用获取或自动计算方式,从插件获取
行为
功能 #3468
: 新自研ATF 改造为插件
行为
功能 #3469
: 支持CalcAgent 1.1
行为
功能 #3480
: Review 升级:支持图片上标出缺陷位置和缺陷信息
行为
功能 #3520
: 菜单按钮合理分类
行为
功能 #3521
: 添加常用菜单按钮快捷键
行为
功能 #3524
: 删除【WaferType】按钮
行为
功能 #3796
: 开发统一的3d数据的格式,导入导出方式统一
行为
功能 #3833
: 单点的WDI ATF插件
行为
功能 #3948
: GrayCD算法参数页面逻辑优化
行为
功能 #3955
: Support joystick开发
行为
功能 #3957
: KSP功能开发
行为
功能 #3958
: KHP功能开发
行为
功能 #3959
: 建立 KPS
行为
功能 #3978
: CD支持图片测量
行为
功能 #4012
: 合并4.4.0 分类功能
行为
功能 #4126
: 手动CD测量界面也使用与算法界面相同的UI
行为
功能 #4154
: 开发:测量工具集和旧的测量结果界面改造
行为
功能 #4155
: 开发:测量工具集和旧的测量结果界面改造
行为
功能 #4254
: 开发圆测量功能
行为
功能 #4361
: 增强圆测量功能,阈值被采用
行为
功能 #4589
: 算法设置界面图层ROI支持复制移植到ROI Editor1.1
行为
功能 #4607
: 新套刻算法界面开发
行为
功能 #4667
: 解决检测过程中,cpu占用过多的几个应用
行为
功能 #4822
: [开发] 使用ATF 做被动聚焦功能
行为
功能 #4884
: [开发] cd不同线宽标定
行为
功能 #4912
: [开发] 优化VIS控制面板
行为
功能 #4940
: [开发]平台旋转,圆中心参数修改
行为
功能 #5013
: CD套刻新增OVL_Item字段,弃用Str_MeasurePoint字段
行为
功能 #5083
: [开发]55所高度测量功能升级
行为
功能 #5212
: 软件调试模式下的连续检测次数设置迁移至夹具设置弹窗里,删除Debug中对应功能
行为
功能 #5217
: [开发] VIS V4.3.9界面中间竖列的图标分布不太合理
行为
功能 #5240
: [开发] 55所CD机台光源添加对应逻辑
行为
功能 #5311
: [检测任务]DB支持CD测量
行为
功能 #5373
: [开发]矩形测量功能
行为
功能 #5413
: [开发] cd不同线宽标定
行为
功能 #5433
: [开发] CD测量时使用基于图像清晰度的被动聚焦
行为
功能 #5566
: [开发] 光源模块:移除用户选择光源类型颜色和能量,只给出枚举选择
行为
功能 #5685
: [开发]CD圆测量实现自动测量
行为
功能 #5688
: [开发] recipe 参数和图片保存时另外保存一份到E盘
行为
功能 #5689
: [开发] ZipData 支持CD数据迁移
行为
功能 #5694
: [开发] DPU 保存检测结果,以及定时清理结果
行为
功能 #5716
: [开发]系统参数界面中移除所有二级弹窗
行为
功能 #5765
: [开发] cd光标定
行为
功能 #5791
: [开发]矩阵键盘显示优化
行为
功能 #5796
: [开发]开发MSG Sensor 插件
行为
功能 #5810
: [开发]添加平台真空异常报警
行为
功能 #5827
: [开发]CD自动判定横线或竖线,并且应用在结果计算和显示上
行为
功能 #5828
: [ROIEditor] CD自动判定横线或竖线,并且应用在结果计算和显示上
行为
功能 #5886
: 开发 物镜关联光源类型
行为
功能 #5897
: [开发]添加每个点位自有的cog值,在测量中使用,使用开关控制
行为
功能 #5917
: [开发] 被动聚焦改造
行为
功能 #5931
: [开发] 各点被动聚焦改造
行为
功能 #5954
: [开发] 测量时被动聚焦使用测量的ROI
行为
功能 #5955
: [开发] CD查询记录优化
行为
功能 #5956
: [开发] CD 检测,支持无配准模式
行为
功能 #5977
: [开发]矩阵键盘优化,添加基板选择功能
行为
功能 #6030
: [开发] 控制面板被动聚焦功能添加ROI功能
行为
功能 #6085
: [开发]CD 相对测量点位改造
行为
功能 #6168
: [开发]CD 可导入相对测量点位
行为
功能 #6169
: [开发]线宽标定数据导入导出,用户可选择导入不同线宽标定数据
行为
功能 #6192
: 【检测任务】基于sensor插件的主动聚焦功能测试
行为
功能 #6217
: [开发]CD手动测量后弹出确认框
行为
功能 #6218
: [开发]移入之后将z调整到基板焦面
行为
功能 #6219
: [开发]MSG传感器,实现主动聚焦效果
行为
功能 #6220
: [开发]坐标点改造
行为
功能 #6221
: [开发]recipe界面改造
行为
功能 #6224
: [开发]自动光源
行为
功能 #6261
: [开发]CD和其DB文件支持3点对准,设定涨缩
行为
功能 #6321
: [开发]CD 面阵相机畸变矫正方法
行为
功能 #6335
: [开发]涨缩方式改造
行为
需求 #2703
: 合理分配以及规范VIS的菜单栏功能按钮。
行为
需求 #2705
: 插件参数修改改为不用需重启VIS
行为
需求 #2708
: 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等
行为
需求 #2785
: 多recipe自动合并map文件功能
行为
需求 #2840
: SPC与Review结合
行为
需求 #2968
: 开关按钮面板
行为
需求 #3007
: C001类型需要支持没有M标识的map文件,可以合并map数据
行为
需求 #3028
: 未设置"自定义分类"参数时的处理逻辑
行为
需求 #3097
: Roi Editor根据Recipe类型限制可用算法
行为
需求 #3451
: 3d数据的格式,导入导出方式统一
行为
需求 #3460
: Review 升级:支持图片上标出缺陷位置和缺陷信息
行为
需求 #3462
: CD算法参数界面逻辑优化
行为
需求 #3523
: 【菜单栏】-【设置】-【WaferType】,如果晶圆类型设置界面中的参数用不到了,建议删除【WaferType】按钮
行为
需求 #3538
: CD 检测,支持无配准模式
行为
需求 #3554
: 2D检测 roi框选 建议 支持自动框选小球功能
行为
需求 #3565
: 测量类:CD、3D测量支持右键切换检测结果
行为
需求 #3930
: Support joystick
行为
需求 #3931
: 开发Custom Keys
行为
需求 #3937
: 2d 圆测量
行为
需求 #3939
: 导入图片CD测量
行为
需求 #3991
: cd光标定
行为
需求 #3993
: cd设定算法参数时,显示算法设定效果
行为
需求 #3994
: cd不同线宽标定
行为
需求 #3995
: cd和3d抽象出一些公共部分
行为
需求 #4039
: 3D检测 ①建议量测结果和map 做成联动形式 ②量测默认会保存Bmp格式图片,针对晶圆Die比较多的产品,量测完会等待几分钟生成Bmp图片才能结束流程,建议增加是否保存Bmp图片按钮。
行为
需求 #4141
: 测量模块添加测量工具集
行为
需求 #4693
: 使用ATF 做被动聚焦功能
行为
需求 #4796
: 55所聚焦插件
行为
需求 #4887
: 优化VIS控制面板
行为
需求 #4893
: ZipData 支持CD数据迁移
行为
需求 #4915
: 55所高度测量功能升级,结合PLC文档中相关描述
行为
需求 #4939
: 平台旋转,圆中心参数修改
行为
需求 #4965
: TP测量自动化
行为
需求 #5068
: CD查询记录优化
行为
需求 #5142
: VIS V4.3.9界面中间竖列的图标分布不太合理
行为
需求 #5239
: 55所CD机台光源添加对应逻辑
行为
需求 #5366
: 光源类型与颜色,同步ATF用户参数
行为
需求 #5367
: CD实现圆测量,矩形测量功能
行为
需求 #5372
: 矩形测量功能
行为
需求 #5432
: CD测量时使用基于图像清晰度的被动聚焦
行为
需求 #5456
: CD圆测量实现自动测量
行为
需求 #5457
: 光源模块:移出用户选择光源类型颜色和能量,只给出枚举选择
行为
需求 #5674
: CD测量时,使用基于MSG信号和图像清晰度的被动聚焦
行为
需求 #5686
: recipe 参数和图片保存时另外保存一份到E盘
行为
需求 #5693
: DPU 保存检测结果,以及定时清理结果
行为
需求 #5715
: 系统参数界面中移除所有二级弹窗
行为
需求 #5790
: 矩阵键盘优化,添加基板选择功能
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需求 #5795
: 开发MSG Sensor 插件
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需求 #5809
: 添加平台真空异常报警
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需求 #5826
: CD自动判定横线或竖线,并且应用在结果计算和显示上
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需求 #5887
: 根据矩阵键盘需要显示的字符,自动生成包含固定样式字符的对应图片,以供矩阵键盘显示使用
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需求 #5916
: 被动聚焦改造
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需求 #6044
: CD 相对测量点位改造
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需求 #6108
: 线宽标定数据导入导出,用户可选择导入不同线宽标定数据
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需求 #6130
: 光源插件切换不存在的光源耗时慢
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需求 #6170
: CD手动测量改造
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需求 #6320
: CD 面阵相机畸变矫正
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设计 #2969
: 开关按钮面板
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设计 #3452
: 3d数据的格式,导入导出方式统一
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设计 #3461
: Review 升级:支持图片上标出缺陷位置和缺陷信息
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设计 #3463
: CD算法参数界面逻辑优化
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设计 #3715
: pdf 生成添加SubstrateID
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设计 #3883
: 将条带图拼接为完整的晶圆图案
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设计 #3964
: CD支持图片测量(附畸变校正)
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设计 #4144
: 测量工具集和旧的测量结果界面改造
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设计 #4145
: 测量工具集和旧的测量结果界面改造
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设计 #4462
: 整理新的套刻算法设定逻辑
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设计 #5004
: [设计]55所高度测量功能升级,结合PLC文档中相关描述
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设计 #5458
: [设计]光源模块:移出用户选择光源类型颜色和能量,只给出枚举选择
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设计 #5792
: [设计]添加基板选择功能
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设计 #6046
: [设计]CD 相对测量点位改造
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设计 #6136
: [设计]线宽标定数据导入导出,用户可选择导入不同线宽标定数据
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