错误 #4627: CD测量，实际检测区域和ROI框选区域有偏差 - 3.VIS 4 - BTS (问题跟踪系统)

行为

错误 #4627

打开

CD测量，实际检测区域和ROI框选区域有偏差

由张萍在大约 2 个月之前添加. 更新于大约 2 个月之前.

状态:

反馈

优先级:

普通

指派给:

类别:

-

目标版本:

开始日期:

2025-05-23

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

机台点位:

全局

描述

ROI2对应的测量结果失败，实际检测区域和ROI2的ROI框选区域有偏差

检测DIE

配准区域

ROI框选区域

文件

下载所有附件

clipboard-202505231053-7v9df.png (659 KB) clipboard-202505231053-7v9df.png		张萍, 2025-05-23 02:51
clipboard-202505231055-6bfza.png (526 KB) clipboard-202505231055-6bfza.png		张萍, 2025-05-23 02:53
clipboard-202505231056-ptarl.png (770 KB) clipboard-202505231056-ptarl.png		张萍, 2025-05-23 02:54
clipboard-202505231423-ps273.png (672 KB) clipboard-202505231423-ps273.png		张萍, 2025-05-23 06:21

相关的问题 1 (0 打开 — 1 已关闭)

行为

#1

由张萍更新于大约 2 个月之前

关联到 错误 #4240: CD测量 - ROI框选区域和实际检测框选区域有偏差 已添加

行为

#2

由张萍更新于大约 2 个月之前

主题从 CD测量，ROI框选区域和实际检测框选区域有偏差 变更为 CD测量，实际检测区域和ROI框选区域有偏差
描述已更新。 (差异)

行为

#3

由张萍更新于大约 2 个月之前

文件 clipboard-202505231423-ps273.png clipboard-202505231423-ps273.png 已添加
描述已更新。 (差异)

行为

#4

由王建祥更新于大约 2 个月之前

状态从新建变更为反馈
指派给 从 王建祥 变更为张萍

添加ROI时面阵相机中心要位于测量DIE范围内。

行为

导出 Atom PDF