行为
需求 #6590
打开ControlSystem功能需求
机台点位:
全局
描述
1.提供计算ChuckPosition旋转后坐标的接口
2.多槽位夹具功能融入
3.拟合聚焦入参改为α坐标;
4.晶圆结构扫描
5.镜头切换偏移
例如:5X做对准,做完后双击MAP能够移动到对应位置;后面切换至10X,双击MAP移动时使用的依旧是5X的参考点,需要内部自动加上镜头切换偏移得到10X参考点;
6.提供更新ControlOpt接口
7.线面偏移方向改为β坐标系的相机方向
8.其他光路的光路间偏移和线面偏移
例如:单独检测B光路时,StagePosition(CamOptic)时用的还是A光路线面偏移
9.ControlSystem中缓存并暴露对准相关参数
例如:
public struct AlignResult
{
/// <summary>
/// Fine1 β坐标,仅对准步骤中使用
/// </summary>
public ChuckPosition Position;
public double Z;
public Angle Angle;
public (double, double) Zoom;
public string Lens;
}
10.增加ControlState改变事件(Changing和Changed)
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