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需求 #6590

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ControlSystem功能需求

唐飞大约一个月 之前添加. 更新于 10 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
类别:
-
目标版本:
开始日期:
2025-11-10
计划完成日期:
2025-12-05 (9 天 延期)
% 完成:

0%

预期时间:
800.00 小时
机台点位:
全局

描述

1.提供计算ChuckPosition旋转后坐标的接口
2.多槽位夹具功能融入
3.拟合聚焦入参改为α坐标;
4.晶圆结构扫描
5.镜头切换偏移
例如:5X做对准,做完后双击MAP能够移动到对应位置;后面切换至10X,双击MAP移动时使用的依旧是5X的参考点,需要内部自动加上镜头切换偏移得到10X参考点;

6.提供更新ControlOpt接口
7.线面偏移方向改为β坐标系的相机方向
8.其他光路的光路间偏移和线面偏移
例如:单独检测B光路时,StagePosition(CamOptic)时用的还是A光路线面偏移
9.ControlSystem中缓存并暴露对准相关参数
例如:
public struct AlignResult {
/// <summary>
/// Fine1 β坐标,仅对准步骤中使用
/// </summary>
public ChuckPosition Position;
public double Z;
public Angle Angle;
public (double, double) Zoom;
public string Lens;
}
10.增加ControlState改变事件(Changing和Changed)

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 跟踪功能 变更为 需求
  • 主题ControlSystem提供计算ChuckPosition旋转后坐标的接口 变更为 ControlSystem功能需求
  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)
  • 计划完成日期2025-11-11 变更为 2025-11-29

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 大约一个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 26 天 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 25 天 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 14 天 之前

  • 计划完成日期2025-11-29 变更为 2025-12-05

唐飞 更新于 14 天 之前

  • 预期时间8.00 小时 变更为 800.00 小时

唐飞 更新于 13 天 之前

  • 描述 已更新。 (差异)

唐飞 更新于 10 天 之前

  • 描述 已更新。 (差异)
行为

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