需求 #2708
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针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等
由 周玉鹏 在 超过一年 之前添加.
更新于 大约一个月 之前.
计划完成日期:
2025-09-22 (23 天 延期)
描述
1.晶圆后期需要针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正结果
2.不同的聚焦用户参数已经完成
- 跟踪 从 5 变更为 设计
- 主题 从 软件建议 变更为 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正结果
- 目标版本 从 4.3 变更为 4.3.8
- 跟踪 从 设计 变更为 需求
- 机台点位 被设置为 全局
- 文件 clipboard-202407240920-ig1ic.png 已添加
- 文件 已删除 (
clipboard-202407240920-ig1ic.png)
- 主题 从 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正结果 变更为 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正结果
- 计划完成日期 被设置为 2025-07-25
- 目标版本 从 4.4.0 变更为 4.3.9
- 开始日期 从 2024-06-14 变更为 2025-07-21
- 主题 从 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正结果 变更为 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等
- 计划完成日期 从 2025-07-25 变更为 2025-08-22
- 主题 从 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等 变更为 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等
- 计划完成日期 从 2025-08-22 变更为 2025-08-29
- 开始日期 从 2025-07-21 变更为 2025-08-11
- 主题 从 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等 变更为 针对不同的光源,添加不同光源下所做平场校正,聚焦用户参数等
- 计划完成日期 从 2025-08-29 变更为 2025-09-22
- 开始日期 从 2025-08-11 变更为 2025-09-02
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