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9.EFEM(设备前端模块)
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9.EFEM(设备前端模块)
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错误
50/50
功能
18/18
需求
1/1
设计
1/1
相关的问题
错误 #98
: 检测界面每个lot 添加重扫失败基片功能
行为
错误 #2344
: IRIS增加预对准传感器,load失败
行为
错误 #2498
: efem做上片操作,出现该提示,关闭窗口之后,不影响后面操作
行为
错误 #2827
: EFEM - 生产转运模式,Register CassetA时,出现CassetB的Register按钮可点击的情况,点击CassetB的Register按钮,导致生产检测终止
行为
错误 #2828
: VIS在Recipe机械手参数中勾选【启用放回预对准】,生产转运 - 交换片结束后,检测出现异常
行为
错误 #2830
: EFEM - Register LoadPortA,生产检测过程中,Stop LoadPortA,检测完成后,EFEM_SV服务停止,基片无法下片
行为
错误 #2831
: EFEM - 生产检测过程中,在生产检测页面点击Stop LP,LP执行解锁动作后,在EFEM_UI界面,先Load LP,再点击Unload,报错:未将对象设置引用到对象的实例
行为
错误 #2833
: EFEM - 生产检测,Register LP1后,Select基片Add To Task失败,报错提示:LoadPort1 is not Loaded
行为
错误 #2837
: EFEM - 生产转运,UnRunning状态的盒子,点击Register操作,不执行Mapping动作,且未继续执行转运
行为
错误 #2842
: 优化:EFEM - 起始槽号Start Slot输入框,限制只能输入正整数
行为
错误 #2846
: EFEM - 生产检测,Add to Task的基片,执行put、get操作和添加任务次数一致后,任务状态才会变为inspecting
行为
错误 #2848
: 生产stop,再去单片页面操作,盒子页面会被禁用
行为
错误 #2851
: EFEM - 生产检测,LP Stop后,基片任务状态显示不对
行为
错误 #2853
: EFEM - 生产检测过程中,点击Stop LP后,基片执行状态为cancle时,点击Retry按钮无效
行为
错误 #2855
: EFEM - DebugView,执行Stage Home操作,无Home动作(在运动平台移动到限位报错的情况,执行的home)
行为
错误 #2857
: 优化:EFEM - DebugView,不支持ID Scanner功能的提示文案
行为
错误 #2866
: EFEM - 生产转运模式,在Register后,发现Target LP存在异常片(斜片),生产检测未终止
行为
错误 #2868
: EFEM - 生产转运模式,启用倒序放置,目标盒Target LP是否有基片验证错误
行为
错误 #2874
: 通过EFEM_UI 从Lot盒取单片晶圆检测,通过Transfer无法放回取片Lot盒里,提示:已存在该晶圆锲约
行为
错误 #2877
: EFEM - Cassette不在位的情况下,Lot盒的状态显示为Unload不对
行为
错误 #2891
: EFEM - 机械手参数【预对准失败】选择Skip, 启用生产检测,检测过程中出现预对准失败的基片后,预对准平台开始出现异常,后面无法执行预对准操作
行为
错误 #2892
: EFEM安装包路径更改,环境变量从原来的VPTEKSOFTWARE改为VPTEK_SOFTWARE
行为
错误 #2893
: EFEM首次安装会有 Copy failed的提示
行为
错误 #2895
: EFEM - 生产非转运模式,Lot盒内cassette不在位的情况下,Lot下的Register按钮应该置灰,不可点击
行为
错误 #2908
: EFEM1.2安装包 - 执行生产检测,无法上片
行为
错误 #2909
: EFEM - LotA、LotB内cassette均不在位的情况下,点击生产检测,检测任务无法终止
行为
错误 #2911
: EFEM - 生产检测 - LotA、LotB盒均存在可Retry的基片,点击LotA下的Register,然后点击Retry按钮,报错信息见截图文件(多操作几次,每次报错信息还不一样)
行为
错误 #2915
: 扫描WAFERID失败,目前选择这几个参数都是继续操作,没有判断参数含义
行为
错误 #2922
: 优化:【EFEM】单片检测,如果预对准失败了,建议输出日志里给出提示
行为
错误 #2942
: 优化建议:生产检测界面Lot盒下的Carrier Status改成Carrier Control
行为
错误 #2984
: EFEM - 生产检测Stop后,如果检测平台、机械手或者预对准平台有基片未下片,5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示,这时用EFEM_UI去下片,基片下片完成后,LP的状态一直处于Stopping,未自动unload
行为
错误 #3003
: EFEM_UI单片操作,点击Lot盒Stop后。如果检测平台、机械手或者预对准平台有基片未下片,5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示,这时用EFEM_UI去下片,基片下片完成后,LP的状态一直处于Stopping,未自动unload
行为
错误 #3004
: 生产模式下第一张晶圆在平台检测,机械手搬运第二张晶圆的时候点击Lot的stop。 这种情况下第二张晶圆放回,第一张晶圆继续检测,第一张晶圆检测完成后,下片的时候点击生成模式的【stop】,5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示,这时用EFEM_UI去下片,基片下片完成后,LP的状态一直处于Stopping,未自动unload
行为
错误 #3128
: 1.ID扫码设备连接失败,建议EFEM 初始化的时候,作出校验 2.样片放到预对准处,ID设备未连接,此时扫码,提示设备连接失败,EFEM会再一次初始化,需要对异常作处理 3.预对准上有样片或有真空没样片 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式 ,能够对预对准进行操作
行为
错误 #3135
: 样片放到预对准处,ID设备未连接,此时扫码,提示设备连接失败,EFEM会再一次初始化,需要对异常作处理
行为
错误 #3179
: Smif多次发送通知,导致Smif通讯异常
行为
错误 #3247
: 点击【Load Lp】,界面闪退
行为
错误 #3251
: 注册过程中,点【stop】及production control中的【stop】没有推送消息
行为
错误 #3253
: 生产检测相关操作,消息来源没有归属到product
行为
错误 #3257
: 从lot盒里取片失败,没有消息推送
行为
错误 #3258
: 预对准失败,没推送消息
行为
错误 #3265
: 以下情况没有消息退出
行为
错误 #3266
: ID设备连接异常,错误码与文档不一致
行为
错误 #3274
: 从预对准平台取片失败错误码和别的重复,需新增错误码;存在基片消息提醒的错误码与文档不一致
行为
错误 #3280
: 放片到预对准平台与从预对准平台取片错误码重复,需要增加
行为
错误 #3296
: 平台是否到位传感器测试,检验打开,传感器被遮住,平台移动到移出位置,机械手一直是等待上片状态。给个超时提醒
行为
错误 #3403
: 【EFEM】平台上有基片,点击生产检测按钮,不会提示错误信息,而是从平台取片
行为
错误 #3416
: 【EFEM】- 生产检测过程中,点击lot stop,预对准平台、检测平台或丫叉上存在基片,无法自动下片
行为
错误 #3491
: efem_svc配置文件中,若组件配置错误efem服务无法停止。在IDScan为true的情况下,给IDScanner赋空值会出现这个情况
行为
错误 #3596
: 通过EFEM_UI单片上片时,基片无法放到检测平台,复现步骤见↓详细描述
行为
功能 #2145
: 生产模式下,添加任务失败信息
行为
功能 #2566
: EFEM生产时,通过配置及预设能够进行转运操作,Client端
行为
功能 #2625
: EFEM wafer index 可以设置起始值,SVC端
行为
功能 #2626
: EFEM wafer index 可以设置起始值,Client端
行为
功能 #2658
: EFEM生产时,通过配置及预设能够进行转运操作,SVC端
行为
功能 #2659
: 在EFEM的生产页面上,展示生产时的实时结果,Client端
行为
功能 #2660
: 在EFEM的生产页面上,展示生产时的实时结果,SVC端
行为
功能 #2661
: EFEM一个片盒生产结束,根据实时结果对异常片可进行Retry操作,Client端
行为
功能 #2662
: 提供生产异常任务Retry接口
行为
功能 #2663
: EFEM - Debug View页面调整,Client端
行为
功能 #2664
: EFEM - Debug View 后端提供接口
行为
功能 #2673
: EFEM服务调用预览相机组件
行为
功能 #2696
: EFEM,生产模式下如果mapping后槽位有异常,该lot不可以被注册
行为
功能 #2818
: 新的IDScaner 部件开发
行为
功能 #2849
: Debug页面,改为按钮点击,输入密码,才能打开。
行为
功能 #2856
: VIS - 在Recipe【EFEM参数】中,增加巡边失败操作逻辑参数
行为
功能 #3502
: 凸片传感器功能开发
行为
功能 #3518
: LoadPort 增加接口 IsBulge() 方法,返回类型bool
行为
需求 #3512
: 凸片传感器功能
行为
设计 #2540
: EFEM 生产,debug,转运等相关更新
行为
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