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错误 #2837
已关闭EFEM - 生产转运,UnRunning状态的盒子,点击Register操作,不执行Mapping动作,且未继续执行转运
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由 郭笑 更新于 11 个月 之前
- 主题 从 EFEM - 生产转运,Source LP内无基片,Register Source LP,Mapping动作结束后,Source LP自动解锁,Carrier status:Unloaded,但是Target LP还在上锁状态,Carrier status一直处于:UnRunning 变更为 EFEM - 生产转运,Source LP内无基片,Register Source LP,Mapping动作结束后,Source LP自动解锁,Carrier status:Unloaded,但是Target LP还在上锁状态,Target LP Carrier status一直处于:UnRunning
由 郭笑 更新于 11 个月 之前
- 主题 从 EFEM - 生产转运,Source LP内无基片,Register Source LP,Mapping动作结束后,Source LP自动解锁,Carrier status:Unloaded,但是Target LP还在上锁状态,Target LP Carrier status一直处于:UnRunning 变更为 EFEM - 生产转运,UnRunning状态的盒子,点击Register操作,不执行Mapping动作
EFEM - 生产转运,Source LP内无基片,Register Source LP,Mapping动作结束后,Source LP自动解锁,Carrier status:Unloaded,但是Target LP还在上锁状态,Target LP Carrier status一直处于:UnRunning
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