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9.EFEM(设备前端模块)
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9.EFEM(设备前端模块)
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错误 #3416
已关闭
【EFEM】- 生产检测过程中,点击lot stop,预对准平台、检测平台或丫叉上存在基片,无法自动下片
由
郭笑
在
6 个月
之前添加. 更新于
6 个月
之前.
状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
郭笑
目标版本:
1.2
开始日期:
2024-11-14
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
机台点位
:
全局
描述
1、软件版本EFEM_1.2.24303
文件
clipboard-202411051749-mfvwm.png
(979 KB)
clipboard-202411051749-mfvwm.png
郭笑, 2024-11-14 09:49
历史记录
说明
更改属性
行为
复制链接
#1
由
郭笑
更新于
6 个月
之前
目标版本
从
1.3
变更为
1.2
行为
复制链接
#2
由
郭笑
更新于
6 个月
之前
描述
已更新。 (
差异
)
行为
复制链接
#3
由
钱忠祥
更新于
6 个月
之前
状态
从
新建
变更为
反馈
指派给
从
钱忠祥
变更为
郭笑
是不是平台上的基片检测一直没有停止?
行为
复制链接
#4
由
郭笑
更新于
6 个月
之前
状态
从
反馈
变更为
已关闭
行为
复制链接
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