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错误 #2984

已关闭

EFEM - 生产检测Stop后,如果检测平台、机械手或者预对准平台有基片未下片,5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示,这时用EFEM_UI去下片,基片下片完成后,LP的状态一直处于Stopping,未自动unload

郭笑9 个月 之前添加. 更新于 9 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2024-08-16
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

想要改变LP的状态,需要重启EFEM_SV


文件

生产检测stop问题.png (787 KB) 生产检测stop问题.png 郭笑, 2024-08-16 01:28

钱忠祥 更新于 9 个月 之前

  • 指派给钱忠祥 变更为 张威

钱忠祥 更新于 9 个月 之前

  • 状态新建 变更为 已解决

张威 更新于 9 个月 之前

  • 状态已解决 变更为 已关闭
行为

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