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功能 #5586

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部署REJE EFEM整机

蒋毅2 个月 之前添加. 更新于 8 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2025-08-05
计划完成日期:
2025-08-15 (大约 2 个月 延期)
% 完成:

100%

预期时间:
20.00 小时 (合计: 284.00 小时)
机台点位:
全局

描述

第二台REJE整机需要部署。
等刘岩环境搭好,安装软件,模拟测试。
同时找REJE厂商学习拟合机械手标定。


子任务 11 (0 打开11 已关闭)

功能 #5960: 二所八寸晶圆点位与12寸晶圆点位标定已关闭刘旭伟2025-09-022025-09-08

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功能 #5975: 二所八寸晶圆Map参数设定已关闭刘旭伟2025-08-272025-09-04

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错误 #5985: 二所整机EFEM机械手回原速度过慢已关闭刘旭伟2025-08-272025-09-04

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错误 #5986: 二所整机EFEM,下片剐蹭出现警报后,会通讯不上REJE EFEM已关闭刘旭伟2025-08-282025-09-05

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错误 #5988: 二所整机EFEM,Load port 多次取放Foup后,Fopu的尺寸信息会丢失已关闭刘旭伟2025-08-292025-09-05

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错误 #5989: 二所整机EFEM,laod lp时偶尔会报Flyout错误已关闭刘旭伟2025-08-302025-09-05

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功能 #5990: 二所REJE整机EFEM,需要单独引出三色灯蜂鸣器开关方便关闭已关闭刘旭伟2025-08-302025-09-05

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错误 #5992: 二所REJE整机EFEM,装载Foup的力度过大,有撞门异响已关闭孙孙逊2025-09-012025-09-05

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错误 #5993: 二所REJE整机EFEM,关盒后Reset,再上片会触发未定义错误62并报警已关闭刘旭伟2025-09-012025-09-05

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错误 #5994: 二所REJE整机EFEM,晶圆放至平台后,会出现位置偏移已关闭孙孙逊2025-09-032025-09-20

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错误 #6202: 二所整机EFEM视频流切换异常已关闭刘旭伟2025-09-24

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