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简介

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功能 #5586

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部署REJE EFEM整机

由 蒋毅 在 2 个月 之前添加. 更新于 8 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-08-05
计划完成日期:
2025-08-15 (大约 2 个月 延期)
% 完成:

100%

预期时间:
20.00 小时 (合计: 284.00 小时)
机台点位:
全局

描述

第二台REJE整机需要部署。
等刘岩环境搭好，安装软件，模拟测试。
同时找REJE厂商学习拟合机械手标定。

子任务 11 (0 打开 — 11 已关闭)

功能 #5960: 二所八寸晶圆点位与12寸晶圆点位标定已关闭刘旭伟2025-09-022025-09-08

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功能 #5975: 二所八寸晶圆Map参数设定已关闭刘旭伟2025-08-272025-09-04

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错误 #5985: 二所整机EFEM机械手回原速度过慢已关闭刘旭伟2025-08-272025-09-04

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错误 #5986: 二所整机EFEM，下片剐蹭出现警报后，会通讯不上REJE EFEM已关闭刘旭伟2025-08-282025-09-05

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错误 #5988: 二所整机EFEM，Load port 多次取放Foup后，Fopu的尺寸信息会丢失已关闭刘旭伟2025-08-292025-09-05

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错误 #5989: 二所整机EFEM，laod lp时偶尔会报Flyout错误已关闭刘旭伟2025-08-302025-09-05

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功能 #5990: 二所REJE整机EFEM，需要单独引出三色灯蜂鸣器开关方便关闭已关闭刘旭伟2025-08-302025-09-05

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错误 #5992: 二所REJE整机EFEM，装载Foup的力度过大，有撞门异响已关闭孙孙逊2025-09-012025-09-05

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错误 #5993: 二所REJE整机EFEM，关盒后Reset，再上片会触发未定义错误62并报警已关闭刘旭伟2025-09-012025-09-05

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错误 #5994: 二所REJE整机EFEM，晶圆放至平台后，会出现位置偏移已关闭孙孙逊2025-09-032025-09-20

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错误 #6202: 二所整机EFEM视频流切换异常已关闭刘旭伟2025-09-24

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 #1

由 蒋毅 更新于 2 个月 之前

部署前，需检查：
1.是否提供两个loadport、Aligner、机械手臂的真空
2.是否整机上料位（平台）InterLock短接
3.是否提供模拟固定平台。
4.上下片机械手点位是否标定正确。

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 #2

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5960 已添加
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 #3

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5975 已添加
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 #4

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5985 已添加
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 #5

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5986 已添加
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 #6

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5988 已添加
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 #7

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5989 已添加
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 #8

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5990 已添加
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 #9

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5992 已添加
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 #10

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5993 已添加
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 #11

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #5994 已添加
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 #12

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #6008 已添加
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 #13

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 已删除 (#6008)
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 #14

由 刘旭伟 更新于 23 天 之前

  • 子任务 #6202 已添加
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