行为
功能 #3800
已关闭4.4.0 计算单元闪退重扫的逻辑优化
机台点位:
全局
描述
目前设计的逻辑:
计算单元闪退,从第一个条带开始重扫,针对晶圆,此做法没太大问题;
对于高倍镜下的无图形检测,重扫会很耗时;
期望:
从最后一个结果未收齐的条带开始重扫,同步检测时需要考虑两个Recipe;
需要考虑重扫的第一个条带缺陷可能会重复的情况。
缓存的条带,在该条带缺陷收齐后,再删除;
文件
行为
描述
目前设计的逻辑:
计算单元闪退,从第一个条带开始重扫,针对晶圆,此做法没太大问题;
对于高倍镜下的无图形检测,重扫会很耗时;
期望:
从最后一个结果未收齐的条带开始重扫,同步检测时需要考虑两个Recipe;
需要考虑重扫的第一个条带缺陷可能会重复的情况。
缓存的条带,在该条带缺陷收齐后,再删除;
文件