由 唐飞 更新于 4 个月 之前
目前设计的逻辑： 计算单元闪退，从第一个条带开始重扫，针对晶圆，此做法没太大问题； 对于高倍镜下的无图形检测，重扫会很耗时； 期望： 从最后一个结果未收齐的条带开始重扫，同步检测时需要考虑两个Recipe； 从最后一个结果未收齐的条带开始重扫，同步检测考虑两个Recipe的情况； 需要考虑重扫的第一个条带缺陷可能会重复的情况。 需要考虑重扫的第一个条带缺陷重复的情况。
返回