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简介

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需求 #6286

已关闭

Efem增加restore回到旋转台功能

由 周庆 在 2 个月 之前添加. 更新于 7 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
周庆
开始日期:
2025-10-08
计划完成日期:
% 完成:

100%

预期时间:
(合计: 0.00 小时)
机台点位:
全局

描述

目前efem中，当reset后，使用restore功能只能将mask放回到smif中，希望改成从哪里上片，最后回到哪里，譬如从旋转台上片，restore后，下片还是到旋转台

文件

Restore功能分析设计.docx (262 KB) Restore功能分析设计.docx 蒋毅, 2025-10-11 05:22

子任务 1 (0 打开 — 1 已关闭)

9.EFEM(设备前端模块) - 需求 #6310: Restore功能优化已关闭刘旭伟2025-10-102025-10-13

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 #1

由 丁亮 更新于 2 个月 之前

  • 指派给 从 丁亮 变更为 蒋毅
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 #2

由 蒋毅 更新于 2 个月 之前

  • 子任务 #6310 已添加
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 #3

由 蒋毅 更新于 2 个月 之前 · 已编辑

设计文档附件已上传

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 #4

由 蒋毅 更新于 大约 2 个月 之前 · 已编辑

已开发完成，待机台调试。

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 #5

由 蒋毅 更新于 大约 2 个月 之前

  • 指派给 从 蒋毅 变更为 俞晨羲

暂无机台测试

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 #6

由 俞晨羲 更新于 大约 2 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 进行中
  • 指派给 从 俞晨羲 变更为 蒋毅

机台已准备完成，继续测试。

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 #7

由 蒋毅 更新于 大约 2 个月 之前

  • 指派给 从 蒋毅 变更为 周庆

请安装EFEM1.3.40015及以上版本

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 #8

由 周庆 更新于 7 天 之前

  • 状态 从 进行中 变更为 已关闭
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