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简介

行为

需求 #6286

打开

Efem增加restore回到旋转台功能

周庆8 天 之前添加. 更新于 5 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
开始日期:
2025-10-08
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
(合计: 0.00 小时)
机台点位:
全局

描述

目前efem中,当reset后,使用restore功能只能将mask放回到smif中,希望改成从哪里上片,最后回到哪里,譬如从旋转台上片,restore后,下片还是到旋转台


文件


子任务 1 (1 打开0 已关闭)

9.EFEM(设备前端模块) - 需求 #6310: Restore功能优化新建蒋毅2025-10-102025-10-13

行为

丁亮 更新于 7 天 之前

  • 指派给丁亮 变更为 蒋毅

蒋毅 更新于 6 天 之前

  • 子任务 #6310 已添加

蒋毅 更新于 5 天 之前 · 已编辑

设计文档附件已上传

行为

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