项目

一般

简介

行为

错误 #6049

已关闭

需求 #5809: 添加平台真空异常报警

功能 #5810: [开发]添加平台真空异常报警

移出状态,真空异常,基片选择窗口,不能选择基片,点击没反应,并且不选择片子也可以做移入动作

谷文静大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
类别:
-
目标版本:
开始日期:
2025-09-09
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局
行为

导出 Atom PDF