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错误 #5994

已关闭

功能 #5586: 部署REJE EFEM整机

二所REJE整机EFEM，晶圆放至平台后，会出现位置偏移

由 刘旭伟 在 大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
孙孙逊
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-09-03
计划完成日期:
2025-09-20
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

二所REJE整机EFEM，晶圆放至检测平台时，降低Pin轴，真空吸附开启，8寸晶圆和12寸晶圆都会出现不同程度的位置偏移

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