项目

一般

简介

行为
复制链接

错误 #5992

已关闭

功能 #5586: 部署REJE EFEM整机

二所REJE整机EFEM，装载Foup的力度过大，有撞门异响

由 刘旭伟 在 大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
孙孙逊
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-09-01
计划完成日期:
2025-09-05
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

二所REJE整机EFEM，装载Foup的力度过大，有撞门异响，需要调节气阀气压。

行为
复制链接
 #1

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 指派给 从 张鹏康 变更为 孙孙逊
行为
复制链接
 #2

由 孙孙逊 更新于 大约一个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭
行为
复制链接

导出 Atom PDF