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错误 #5989

已关闭

功能 #5586: 部署REJE EFEM整机

二所整机EFEM，laod lp时偶尔会报Flyout错误

由 刘旭伟 在 大约一个月 之前添加. 更新于 23 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-08-30
计划完成日期:
2025-09-05
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

任意loadport位置load lp，dock结束后，偶尔会出现开盒失败，报凸片flyout错误，实际晶圆没有发现明显位移。

文件

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clipboard-202509031750-rrtgt.jpg (1.82 MB) clipboard-202509031750-rrtgt.jpg 刘旭伟, 2025-09-03 09:50
clipboard-202509240848-sqmsb.png (37 KB) clipboard-202509240848-sqmsb.png 刘旭伟, 2025-09-24 00:48
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