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功能 #5975

已关闭

功能 #5586: 部署REJE EFEM整机

二所八寸晶圆Map参数设定

由 刘旭伟 在 大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-08-27
计划完成日期:
2025-09-04
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

二所REJE的整机EFEM的8寸Mapping参数不能正常执行，需要设定参数和修改传感器阈值。

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 #1

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

已配合应用孙逊完成Map参数的设定，Map参数仅为家中测试使用，现场部署以客户晶圆参数为准

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 #2

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭
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