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功能 #5960

已关闭

功能 #5586: 部署REJE EFEM整机

二所八寸晶圆点位与12寸晶圆点位标定

由 刘旭伟 在 大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-09-02
计划完成日期:
2025-09-08
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

二所EFJE整机EFEM，需要进行八寸晶圆点位与12寸晶圆点位标定，点位表如下图所示

文件

clipboard-202509021337-zfyns.png (581 KB) clipboard-202509021337-zfyns.png 刘旭伟, 2025-09-02 05:37
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 #1

由 刘旭伟 更新于 大约一个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭

已配合应用孙逊完成12寸晶圆点位和8寸晶圆点位标定，设备断电重启后点位信息仍在。
两组点位信息仅为家中测试使用，现场以客户的晶圆为准。

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