行为
错误 #5536
已关闭Unload 失败
开始日期:
2025-08-01
计划完成日期:
% 完成:
100%
预期时间:
(合计: 8.00 小时)
机台点位:
全局
描述
8月1号10：03，efem unload 时报错，平台未移动到指定位置
文件
| EFEM.png (265 KB) EFEM.png | |||
| 系统日志.zip (3.38 MB) 系统日志.zip | |||
| mcu_Logs.zip (890 KB) mcu_Logs.zip | |||
| Storm_Logs.zip (2.57 MB) Storm_Logs.zip | |||
| clipboard-202508051616-yacqq.png (83.8 KB) clipboard-202508051616-yacqq.png | |||
| clipboard-202508051617-5rfin.png (164 KB) clipboard-202508051617-5rfin.png |
行为