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支持 #4849

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0.2-0.5um的漏检缺陷，需要进一步跟进光路调试计划

由 张鹏康 在 大约一个月 之前添加. 更新于 5 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
周文彩
开始日期:
2025-06-17
计划完成日期:
% 完成:

10%

预期时间:
机台点位:
上海传芯Storm 3000U

描述

C-semi使用Mark对该类型缺陷取样打Mark，并使用AFM测量深度后Vp对该缺陷使用DIC进行测试
目前测试结果如下图，16.8nm高度的缺陷可通过DIC成像，但是低于此高度的缺陷无法被识别。

文件

clipboard-202506171450-da2rl.jpg (3.79 MB) clipboard-202506171450-da2rl.jpg 张鹏康, 2025-06-17 06:50
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 #1

由 周文彩 更新于 5 天 之前

  • % 完成 从 0 变更为 10

针对3000u扁平缺陷漏检问题，目前已确定整改方案，DIC棱镜已在设计中，月底设计定稿

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