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错误 #4137

已关闭

Load/Unload过程中,机械手和Smif盒的基片在位状态,无法实时更新

刘旭伟大约一个月 之前添加. 更新于 24 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2025-04-08
计划完成日期:
2025-05-01
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

在执行Load/Unload过程中,机械手和Smif盒的基片在位状态,无法实时更新


文件

UI.png (85 KB) UI.png 刘旭伟, 2025-04-09 02:28
B8F47D6A-FCB6-4911-9093-88DE8A2F6FCE.png (759 KB) B8F47D6A-FCB6-4911-9093-88DE8A2F6FCE.png 刘旭伟, 2025-04-09 02:28
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