行为
错误 #3596
已关闭通过EFEM_UI单片上片时,基片无法放到检测平台,复现步骤见↓详细描述
描述
软件版本:EFEM_1.2.4345
1、修改EFEM_Service配置文件
"LoadPortOpt":{
"NoUnLoadWhenTaskFinished":true
},
2、启用生产检测,生产检测结束后,LP状态为UnRunning
3、通过EFEM_UI选择一个有基片的槽位,点击Load
4、基片无法放到检测平台,看截图!
文件
行为
描述
软件版本:EFEM_1.2.4345
1、修改EFEM_Service配置文件
"LoadPortOpt":{
"NoUnLoadWhenTaskFinished":true
},
2、启用生产检测,生产检测结束后,LP状态为UnRunning
3、通过EFEM_UI选择一个有基片的槽位,点击Load
4、基片无法放到检测平台,看截图!
文件