错误 #3596
软件版本:EFEM_1.2.4345
1、修改EFEM_Service配置文件
"LoadPortOpt":{
"NoUnLoadWhenTaskFinished":true
},
2、启用生产检测,生产检测结束后,LP状态为UnRunning
3、通过EFEM_UI选择一个有基片的槽位,点击Load
4、基片无法放到检测平台,看截图!
!clipboard-202412161811-rr4cl.png!